Matumizi 8 ya Kawaida ya Vipengele vya Granite ya Usahihi katika Vifaa vya Semiconductor

Katika tasnia ya semiconductor, ambapo "nanomita" ni kitengo cha kawaida cha kipimo, uadilifu wa kimuundo wa vifaa hauwezi kujadiliwa. Kadri nodi za chipu zinavyopungua hadi 5nm na zaidi, mahitaji ya upunguzaji wa mtetemo na uthabiti wa joto hufikia viwango vikubwa. Vipengele vya granite vya usahihi vimebadilika kutoka kuwa chaguo la hali ya juu hadi "DNA" muhimu ya vifaa vya utengenezaji wa semiconductor.

Kama mtoa huduma anayeongoza wa miundo ya vifaa vya uthabiti wa hali ya juu, ZHHIMG® inachambua matumizi manane muhimu zaidi ambapo granite ni shujaa wa kimya wa fab.

1. Misingi ya Mashine ya Lithografia

Mashine ya lithografia ndiyo kifaa tata zaidi katika mnyororo wa nusu-semiconductor. Msingi lazima uunge mkono mifumo mikubwa ya macho huku ukibaki tuli kabisa. Uzito mkubwa wa Granite na unyevu wa ndani huiruhusu kunyonya mitetemo midogo kutoka kwa mazingira yanayoizunguka, na kuhakikisha chanzo cha mwanga kinabaki kikiwa kimepangwa katika kiwango cha atomiki.

2. Hatua za Mwendo wa Kubeba Hewa

Usafirishaji wa wafer wa kasi kubwa unahitaji mwendo usio na msuguano. Kwa sababu granite inaweza kuunganishwa hadi ulalo wa chini ya micron, hutumika kama mshirika kamili wa teknolojia ya kubeba hewa. "Mto wa hewa" huteleza juu ya uso wa granite bila uchakavu wowote, na kutoa mwendo laini sana unaohitajika kwa ajili ya kuchanganua na kuweka nafasi.

3. Ukaguzi wa Wafer na Majukwaa ya Metrology

Baada ya kung'oa, wafer lazima zikaguliwe kwa kasoro. Upanuzi wowote wa joto kwenye fremu ya mashine utasababisha "chanya ya uwongo" au kasoro iliyokosekana.Vipengele vya granite vya usahihikutoa mazingira yasiyo na joto, kuhakikisha kwamba data ya ukaguzi ni tafakari halisi ya uso wa wafer, si upotoshaji wa mashine.

4. Mifumo ya Mwendo wa Gantry (Miundo ya Daraja)

Katika kukata vipande kwa kasi kubwa au kuunganisha waya, "daraja" au gantry lazima lisonge kwa kasi bila kutikisika. Gantry ya granite hutoa uwiano bora wa ugumu-kwa-uzito ikilinganishwa na chuma cha kutupwa, na kupunguza kwa kiasi kikubwa "muda wa kutulia" - muda ambao mashine lazima isubiri mitetemo isimame kabla ya kufanya kazi yake inayofuata.

5. Fremu za Vifaa vya Urekebishaji wa Leza

Wakati kasoro inapopatikana kwenye barakoa au wafer, leza hutumika kwa ajili ya ukarabati wa usahihi. Hii inahitaji msingi wa kimuundo ambao hauna sumaku kabisa na haupitishi umeme. Granite huhami joto kiasili, na kuzuia mwingiliano wa sumakuumeme kuathiri njia laini ya leza.

6. CMM (Mashine za Kupima Sawa) kwa Vyumba vya Kusafisha

Udhibiti wa ubora ndani ya kituo cha semiconductor unahitaji CMM ambazo zinaweza kuhimili itifaki kali za chumba cha usafi. Tofauti na chuma, ambacho kinaweza kutoa chembe au oksidi, granite inastahimili asidi na haipiti kutu, ikidumisha muundo wa vifaa vya uthabiti wa hali ya juu bila kuchafua mazingira.

7. Misingi ya Kung'arisha Mitambo ya Kemikali (CMP)

Mchakato wa CMP unahusisha tope na mawakala wa kemikali ambao huharibu sana metali. Upinzani wa kemikali asilia wa granite huifanya kuwa nyenzo bora kwa msingi wa kimuundo wa vitengo vya kung'arisha, na kuhakikisha maisha marefu ya huduma hata katika mazingira magumu ya kemikali.

8. Mifumo ya Upandikizaji wa Ioni

Mazingira yenye volteji nyingi katika vipandikizi vya ioni huhitaji vipengele ambavyo havitaingiliana na mihimili ya ioni au kuunda upinde wa umeme. Sifa za dielektriki za Granite huifanya kuwa chaguo salama na thabiti la kuweka vipengele nyeti vya umeme na utupu.

Kwa nini ZHHIMG® kwa Miundombinu ya Semiconductor?

Katika ZHHIMG®, tunaelewa kwamba msingi wa vifaa vya nusu-semiconductor ni zaidi ya kipande cha jiwe tu—ni kifaa kilichorekebishwa. Granite yetu maalum nyeusi, pamoja na utaalamu wetu wa kusaga kwa mikono wa zaidi ya miaka 30, huturuhusu kufikia viwango vya ulalo na ulinganifu vinavyokidhi mahitaji magumu ya enzi ya chini ya micron.

• Nyenzo: Granite nyeusi ya ZHHIMG® yenye msongamano mkubwa, yenye chembe chembe ndogo sana.

• Usahihi: Daraja za usahihi kulingana na DIN 876 Daraja la 00 au vipimo maalum vya JIS/ASME.

• Ubinafsishaji: Viingilio vilivyojumuishwa, nafasi za T, na njia za kubeba hewa zilizowekwa tayari katika warsha zetu za joto zisizobadilika za 10,000m².