Katika ulimwengu wa utengenezaji wa usahihi wa hali ya juu—ambapo uvumilivu hupungua chini ya mikroni 5 na umaliziaji wa uso unakaribia ubora wa macho—zana tunazotegemea lazima zibadilike zaidi ya utamaduni. Kwa miongo kadhaa, chuma na granite zilitawala benchi la upimaji. Lakini kadri viwanda kama vile vifaa vya nusu-semiconductor, optiki za anga za juu, na vifaa vidogo vya matibabu vinavyoingia katika ulimwengu ambapo hata mkondo wa joto au uchakavu wa hadubini huleta hitilafu isiyokubalika, kundi jipya la zana za marejeleo linaibuka: zile zilizotengenezwa sio kwa chuma au jiwe, bali kutoka kwa kauri za hali ya juu za kiufundi.
Katika ZHHIMG, tumehamia zaidi ya kutoa tuMtawala wa Kauri Sawaau bidhaa za Kauri Square Ruler. Tunafafanua upya jinsi ukingo ulionyooka unavyoweza kuwa—kwa kuchanganya vifaa vya kauri vilivyo imara sana na muundo wa kisasa, ikiwa ni pamoja na kauri yetu ya kisasa ya Kauri Custom air floating, suluhisho ambalo huondoa mguso wa kiufundi kabisa huku likitoa uwezo wa kurudia wa kiwango cha nanomita.
Kwa nini ni keramik? Jibu linaanza katika kiwango cha molekuli. Tofauti na chuma—ambacho hupanuka kwa kiasi kikubwa na halijoto—au granite—ambayo, licha ya uthabiti wake, inabaki kuwa na vinyweleo na tofauti—keramik zilizoundwa kama vile alumina iliyoimarishwa na zirconia (ZTA) na nitridi ya silikoni hutoa vinyweleo karibu na sifuri, ugumu wa kipekee (1400–1800 HV), na viashiria vya upanuzi wa joto chini ya 3–4 µm/m·°C. Hii ina maana kwamba Ukingo Mnyoofu wa Kauri kutoka ZHHIMG hudumisha jiometri yake katika mabadiliko ya halijoto ambayo yangepotosha zana za kawaida kwa mikroni kadhaa.
Lakini nyenzo pekee haitoshi. Kinachotofautisha rula zetu za kauri ni usahihi wa utengenezaji wao. Kwa kutumia kusaga almasi, kung'arisha kwa kutumia nafasi ndogo, na uthibitishaji wa leza wa interferometric katika vyumba vya usafi vya ISO Daraja la 5, tunafikia uvumilivu wa unyoofu bora kuliko 0.8 µm zaidi ya 500 mm—imethibitishwa sio tu wakati wa uwasilishaji, lakini pia imeandikwa katika ripoti kamili za urekebishaji zinazoweza kufuatiliwa kwa viwango vya NIST na PTB.Mtawala wa Mraba wa Kaurihupitia upimaji wa uthabiti kupitia autocollimation ya kielektroniki, kuhakikisha pembe zinashikiliwa ndani ya sekunde 1 ya arc-sekunde (kupotoka kwa ≈0.5 µm kwa 100 mm).
Hizi si vipimo vya kinadharia. Ni hali halisi za uendeshaji kwa wateja ambao hawawezi tena kumudu maelewano. Mtoa huduma mkuu wa vipengele vya lithografia ya EUV sasa anatumia Kidhibiti chetu cha Kauri Kilichonyooka pekee kwa ajili ya kupanga fremu za usaidizi wa kioo. "Vidhibiti vya chuma vilipinda wakati wa mizunguko mirefu ya mfiduo," mtaalamu wao mkuu wa vipimo alituambia. "Granite iliokota chembe. Toleo la kauri? Limekuwa thabiti kwa miezi 18—hakuna urekebishaji unaohitajika."
Lakini hata jiometri kamili inaweza kuathiriwa na mguso. Buruta rula kwenye uso, na una hatari ya mikwaruzo midogo, kuingiliwa kwa filamu ya mafuta, au mabadiliko ya elastic—hasa kwenye metali laini au optiki zilizong'arishwa. Hapo ndipo uvumbuzi wa ZHHIMG unaposonga mbele na rula inayoelea hewa ya Kauri Maalum.
Huu si ukingo ulionyooka wa kauri tu wenye mashimo yaliyotobolewa ndani yake. Ni mfumo wa angani uliobuniwa kikamilifu, ulioundwa kwa kutumia mienendo ya umajimaji wa kompyuta ili kutoa mtiririko wa hewa sare, wa laminar katika urefu mzima wa rula. Inaposhinikizwa na hewa safi, kavu (au nitrojeni katika mazingira nyeti), rula huelea mikroni 5–10 juu ya kipande cha kazi—kuondoa mguso wa kimwili huku ikidumisha mpangilio mzuri. Matokeo yake? Kipimo halisi cha kutogusana kwa uthabiti, unyoofu, au uthibitishaji wa urefu wa hatua, huku uwezo wa kurudia ukipungua hadi ± 0.2 µm.
Maabara moja ya kompyuta ya quantum nchini Uswisi sasa inatumia rula inayoelea ya hewa ya Kauri Maalum ya milimita 600 ili kukagua vibebaji vya chip vya superconducting. "Mguso wowote—hata kwa kalamu laini—huleta msongo unaobadilisha utendaji wa qubit," mhandisi wao wa michakato alielezea. "Rula inayoelea ya kauri inayoelea hewani hutupatia marejeleo tunayohitaji bila kugusa sehemu hiyo. Imekuwa muhimu sana."
Kinachofanya hili liwezekane ni ujumuishaji wa kipekee wa sayansi ya vifaa, uchakataji wa usahihi, na utaalamu wa upimaji wa vipimo wa ZHHIMG. Ingawa wasambazaji wengi huchukulia kauri kama vipengele vya kimuundo, tunaziboresha kama mabaki ya vipimo. Miundo yetu ya Kauri Square Ruler inajumuisha kingo zilizopigwa chamfered ili kuzuia kupasuka, migongo iliyomalizika kwa matte ili kupunguza mwangaza chini ya ukaguzi, na alama za hiari za fiducial kwa mifumo ya kuona kiotomatiki. Kwa matumizi ya chumba cha usafi, nyuso hung'arishwa hadi Ra < 0.02 µm ili kupunguza mshikamano wa chembe.
Na kwa sababu kila matumizi ni tofauti, hatuamini katika ukubwa mmoja unaofaa wote. Unahitaji Ukingo Mnyoofu wa Kauri wenye njia za utupu zilizopachikwa ili kushikilia wafers nyembamba wakati wa ukaguzi? Tumeijenga. Inahitajirula ya mrabaUkiwa na mashimo ya kupita yaliyopangwa kwenye ncha yako ya uchunguzi wa CMM? Umemaliza. Unataka rula maalum ya hewa ya Kauri inayoelea yenye vitambuzi vya shinikizo vilivyojumuishwa na maoni ya kusawazisha kidijitali? Hiyo tayari iko katika majaribio ya beta na mteja wa anga wa Tier-1.
Utambuzi wa sekta umefuata. Katika Mapitio ya 2025 ya Advanced Metrology, ZHHIMG ilitajwa kama kampuni pekee inayotoa familia kamili ya zana za marejeleo za kauri zilizothibitishwa—ikiwa ni pamoja na aina zinazoelea—zenye uthibitisho kamili wa kijiometri na ufuatiliaji wa kidijitali. Lakini muhimu zaidi, kupitishwa kunaongezeka: zaidi ya 60% ya maagizo yetu ya rula za kauri sasa yanatoka kwa viwanda ambavyo hapo awali viliona zana hizo kuwa “zinazidi uwezo”—hadi walipopima tofauti.
Kampuni changa ya vifaa vya matibabu inayozalisha vipandikizi vya neva ilibadilisha kutoka chuma hadi Ceramic Square Ruler yetu na kuona mavuno yao ya kwanza yakiongezeka kwa 22%. "Mraba wa zamani uliacha vijidudu vidogo kwenye vifuniko vya titani," meneja wao wa QA alisema. "Hatukujua hata hadi tulipobadilisha. Sasa, kila sehemu hupita ukaguzi wa kuona na wa vipimo kwenye jaribio la kwanza."
Kwa hivyo unapotathmini uboreshaji wako unaofuata wa upimaji, jiulize: Je, ukingo wangu wa moja kwa moja wa sasa unaongeza kutokuwa na uhakika—au kuuondoa?
Ikiwa mchakato wako unafanya kazi katika ukingo wa kugunduliwa, jibu linaweza kuwa katika kauri—sio kama jambo jipya, bali kama jambo la lazima. Katika ZHHIMG, hatutengenezi tu Kauri Mtawala Mnyoofu, Kauri Mraba Mkubwa, au zana za Kauri Mkondo Mnyoofu. Tunaunda ujasiri katika kila mikroni.
Muda wa chapisho: Desemba-31-2025