Katika nyanja za utengenezaji wa usahihi na utafiti wa kisayansi, usawa wa majukwaa ya usahihi wa granite ni kiashiria muhimu cha kuhakikisha usahihi wa vifaa. Ufuatao ni utangulizi wa kina wa mbinu kadhaa za kawaida za utambuzi na taratibu zao za uendeshaji kwako. .
I. Mbinu ya Kugundua interferometer ya laser
Kiingilizi cha laser ndicho chombo kinachopendelewa zaidi cha utambuzi wa utepe wa hali ya juu. Chukua kiingilizi cha laser cha ZYGO GPI XP kama mfano, azimio lake linaweza kufikia 0.1nm. Wakati wa kufanya uchunguzi, kwanza unganisha chanzo cha mwanga cha interferometer na jukwaa na ugawanye uso wa jukwaa katika maeneo ya gridi ya 50mm×50mm. Baadaye, data ya ukingo wa mwingiliano ilikusanywa hatua kwa hatua, na data iliwekwa na kuchambuliwa kwa kutumia ponomia ya Zernike ili kupata hitilafu ya ubapa. Mbinu hii inatumika kwa majukwaa ya usahihi wa hali ya juu na inaweza kutambua makosa ya kujaa kwa ≤0.5μm/m². Inatumika sana katika utambuzi wa mashine za kupiga picha na majukwaa ya mashine ya kupimia yenye uratibu wa juu tatu. .
ii. Njia ya safu ya kiwango cha elektroniki
Ugunduzi wa safu ya kielektroniki ni rahisi kufanya kazi na yenye ufanisi mkubwa. Kiwango cha kielektroniki cha TESA A2 (yenye azimio la 0.01μm/m) kilichaguliwa na kupangwa katika safu ya 9×9 kando ya mwelekeo wa mhimili wa X/Y wa jukwaa. Kwa kukusanya kwa usawa data ya mwelekeo wa kila ngazi na kisha kutumia mbinu ya angalau mraba kwa hesabu, thamani ya kujaa inaweza kupatikana kwa usahihi. Njia hii inaweza kutambua kwa ufanisi hali ya ndani ya concavity na convexity ya jukwaa. Kwa mfano, mabadiliko ya 0.2μm ndani ya safu ya 50mm yanaweza pia kugunduliwa, ambayo yanafaa kwa kugundua haraka katika uzalishaji wa wingi. .
Iii. Optical Flat kioo Mbinu
Njia ya kioo ya gorofa ya macho inafaa kwa ajili ya kugundua majukwaa ya eneo ndogo. Ambatanisha kioo bapa ya macho vizuri kwenye uso ili kujaribiwa kwenye jukwaa na uangalie kando ya mwingiliano kati yao chini ya mwanga wa chanzo cha mwanga cha monokromatiki (kama vile taa ya sodiamu). Ikiwa kupigwa ni kupigwa sawa sawa, inaonyesha gorofa nzuri. Michirizi iliyopotoka ikionekana, hesabu hitilafu ya ubapa kulingana na kiwango cha kupindika kwa mstari. Kila mstari uliopinda unawakilisha tofauti ya urefu wa 0.316μm, na data ya kujaa inaweza kupatikana kupitia ubadilishaji rahisi. .
Nne. Njia tatu za Kuratibu Mashine ya Kupima
Mashine ya kupimia ya kuratibu tatu inaweza kufikia kipimo cha usahihi wa juu katika nafasi ya pande tatu. Weka jukwaa la granite kwenye jedwali la kufanya kazi la mashine ya kupimia na utumie uchunguzi kukusanya data kwa usawa kutoka kwa sehemu nyingi za vipimo kwenye uso wa jukwaa. Mfumo wa mashine ya kupimia huchakata na kuchanganua data hizi ili kutoa ripoti ya usawazishaji wa jukwaa. Njia hii haiwezi tu kuchunguza kujaa, lakini pia kupata vigezo vingine vya kijiometri vya jukwaa wakati huo huo, na inafaa kwa utambuzi wa kina wa majukwaa makubwa ya granite. .
Kujua mbinu hizi za utambuzi kunaweza kukusaidia kutathmini kwa usahihi usawa wa jukwaa la granite na kutoa hakikisho la kuaminika kwa utendakazi thabiti wa vifaa vya usahihi.
Muda wa kutuma: Mei-29-2025