Katika uwanja wa utengenezaji wa hali ya juu na utafiti wa kisasa wa kisayansi, moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu ya kuelea hewa imekuwa kifaa muhimu cha uendeshaji mzuri na kipimo na utendaji wake bora wa usahihi. Msingi wa usahihi wa granite, kama msingi wa msaada, una mahitaji madhubuti kwa mazingira ya kazi, na hali ya mazingira inayofaa ndio msingi wa kuhakikisha utendaji wake thabiti na athari bora.
Kwanza, udhibiti wa joto: usahihi "kiimarishaji"
Ingawa granite inajulikana kwa uthabiti wake, haina kinga kabisa na mabadiliko ya joto. Ingawa mgawo wake wa upanuzi wa joto ni mdogo, kwa ujumla 5-7 × 10⁻⁶/℃, katika hali ya udhibiti wa mwendo wa usahihi wa hali ya juu, mabadiliko madogo ya halijoto bado yanaweza kusababisha mabadiliko ya mwelekeo na kuathiri usahihi wa moduli. Katika semina ya utengenezaji wa chip za semiconductor, mchakato wa lithography unahitaji usahihi wa nafasi ya kiwango cha danami, na hali ya joto iliyoko hubadilika kwa 1 ° C, na msingi wa granite wenye urefu wa upande wa mita 1 unaweza kutoa upanuzi wa mstari au upunguzaji wa microns 5-7. Mabadiliko haya madogo yanapitishwa na moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu ya kuelea hewa, ambayo inatosha kufanya kupotoka kwa muundo wa lithography ya chip na kupunguza sana mavuno. Kwa hivyo, ikiwa na msingi wa usahihi wa granite wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hewa inayoelea, hali ya joto bora ya mazingira ya kufanya kazi inapaswa kudhibitiwa kwa 20 ° C ± 1 ° C, kwa msaada wa vifaa vya hali ya juu vya usahihi wa hali ya juu, kama vile hali ya joto ya kila wakati na mfumo wa hali ya hewa ya unyevu, ufuatiliaji unaoendelea na marekebisho ya hali ya joto iliyoko, ili kuhakikisha kuwa katika safu ndogo ya hali ya joto, kudumisha hali ya joto ya chini, kudumisha hali ya kawaida ya joto, kudumisha hali ya joto. operesheni ya usahihi wa juu.
Pili, usimamizi wa unyevu: ufunguo wa ulinzi wa unyevu-ushahidi "jiwe"
Unyevu ni jambo lingine muhimu linaloathiri utendaji wa msingi wa granite wa usahihi. Katika mazingira ya unyevu wa juu, granite ni rahisi kunyonya mvuke wa maji, ambayo inaweza kusababisha condensation juu ya uso, ambayo haiathiri tu uthabiti wa uunganisho wa granite na moduli ya mwendo wa usahihi wa juu wa kuelea hewa, lakini pia inaweza kusababisha mmomonyoko wa uso na kupunguza gloss na usahihi kwa muda mrefu. Katika semina ya kusaga ya lensi ya macho, ikiwa unyevu ni wa juu kuliko 60% RH kwa muda mrefu, mvuke wa maji uliowekwa kwenye uso wa msingi wa granite utaingilia kati na harakati ya slider ya kuelea gesi, ili usahihi wa kusaga lens umepunguzwa, na uso una kasoro. Kwa hivyo, unyevu wa jamaa wa mazingira ya kufanya kazi unapaswa kudhibitiwa kwa ukali kati ya 40% -60% RH, ambayo inaweza kufuatiliwa na kurekebishwa kwa wakati halisi kwa kusakinisha dehumidifiers, sensorer unyevu na vifaa vingine ili kuzuia uharibifu wa msingi wa granite kutokana na unyevu wa juu, na kuhakikisha uendeshaji mzuri wa moduli ya mwendo wa usahihi wa juu wa kuelea hewa.
Tatu, dhamana ya usafi: "mlinzi" wa usahihi
Madhara ya chembe za vumbi kwa msingi wa usahihi wa graniti wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu ya kuelea hewani hauwezi kupunguzwa. Mara chembe ndogo zinapoingia kwenye pengo la filamu ya gesi kati ya kitelezi cha kuelea gesi na msingi wa granite, zinaweza kuharibu usawa wa filamu ya gesi, kuongeza msuguano, na hata kukwaruza uso wa msingi, na kusababisha kupungua kwa usahihi wa harakati. Katika warsha ya uchakataji wa usahihi wa hali ya juu ya sehemu za anga, ikiwa chembe za vumbi angani zitaanguka kwenye msingi wa granite, njia ya mwendo ya zana ya uchakataji inaweza kupotoka, na kuathiri usahihi wa uchakataji wa sehemu hizo. Kwa hivyo, eneo la kazi linapaswa kuwekwa safi sana, kufikia viwango 10,000 au hata vya juu zaidi vya viwango vya usafi, kupitia uwekaji wa vifaa vya kusafisha hewa, kama vile vichungi vya ufanisi wa hewa (HEPA), kuchuja chembe za vumbi hewani, wakati huo huo, wafanyikazi wanahitaji kuvaa nguo zisizo na vumbi, vifuniko vya viatu, nk, ili kupunguza vumbi linaloletwa na wanadamu. Dumisha mazingira ya usahihi wa hali ya juu ya uendeshaji wa msingi wa graniti na moduli ya mwendo wa kuelea hewa kwa usahihi wa hali ya juu.
Nne, kutengwa kwa vibration: operesheni laini ya "pedi ya mshtuko"
Mtetemo wa nje ni adui wa usahihi wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu ya kuelea hewa. Ingawa msingi wa usahihi wa graniti una uwezo fulani wa kupunguza mtetemo, mtetemo wa nguvu ya juu bado unaweza kuvunja kikomo chake cha bafa. Mtetemo unaotokana na trafiki karibu na kiwanda na uendeshaji wa vifaa vikubwa vya mitambo hupitishwa kwenye msingi wa granite kupitia ardhi, ambayo itaingilia kati usahihi wa mwendo wa moduli ya mwendo wa usahihi wa juu wa kuelea hewa. Katika CMM ya hali ya juu, mtetemo unaweza kusababisha mguso kati ya kichunguzi cha kupimia na kifaa cha kazi kupimwa kutokuwa thabiti, na kusababisha kupotoka kwa data ya kipimo. Ili kutatua tatizo hili, ni muhimu kuchukua hatua madhubuti za kutenganisha mtetemo, kama vile kuweka pedi za kutenganisha mtetemo katika eneo la usakinishaji wa kifaa, kujenga msingi wa kutenganisha mtetemo, au kutumia mfumo amilifu wa kutenganisha mtetemo ili kukabiliana kikamilifu na mtetemo wa nje, na kuunda mazingira tulivu na thabiti ya kufanya kazi kwa msingi wa usahihi wa graniti na moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea hewa.
Ni kwa kukidhi kikamilifu mahitaji ya mazingira ya halijoto, unyevunyevu, usafi na udhibiti wa mtetemo, msingi wa usahihi wa graniti wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu ya kuelea hewa unaweza kutoa uchezaji kamili kwa manufaa yake ya utendakazi, kutoa uhakikisho wa kutegemewa kwa shughuli za usahihi wa hali ya juu katika nyanja mbalimbali, na kusaidia tasnia kuelekea kwenye kiwango cha juu cha utengenezaji na utafiti wa kisayansi.
Muda wa kutuma: Apr-08-2025