Katika uwanja wa utengenezaji wa hali ya juu na utafiti wa kisayansi wa hali ya juu, moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu ya kuelea hewa imekuwa kifaa muhimu kwa uendeshaji mzuri na upimaji pamoja na utendaji wake bora wa usahihi. Msingi wa usahihi wa granite, kama msingi wa usaidizi, una mahitaji makali kwa mazingira ya kazi, na hali zinazofaa za mazingira ndio msingi wa kuhakikisha utendaji wake thabiti na athari bora.
Kwanza, udhibiti wa halijoto: "kiimarishaji" cha usahihi
Ingawa granite inajulikana kwa uthabiti wake, haina kinga kabisa dhidi ya mabadiliko ya halijoto. Ingawa mgawo wake wa upanuzi wa joto ni mdogo, kwa ujumla 5-7 × 10⁻⁶/℃, katika hali za udhibiti wa mwendo wa usahihi wa halijoto, mabadiliko madogo ya halijoto bado yanaweza kusababisha mabadiliko ya vipimo na kuathiri usahihi wa moduli. Katika karakana ya utengenezaji wa chipu za nusu-semiconductor, mchakato wa lithografia unahitaji usahihi wa uwekaji wa kiwango cha danami, na halijoto ya mazingira hubadilika kwa 1 ° C, na msingi wa granite wenye urefu wa pembeni wa mita 1 unaweza kutoa upanuzi wa mstari au mkazo wa mikroni 5-7. Mabadiliko haya madogo hupitishwa na moduli ya mwendo wa usahihi wa halijoto wa kuelea kwa hewa, ambayo inatosha kufanya kupotoka kwa muundo wa lithografia ya chipu na kupunguza sana mavuno. Kwa hivyo, ikiwa na msingi wa usahihi wa granite wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu unaoelea hewani, halijoto bora ya mazingira ya kazi inapaswa kudhibitiwa kwa 20 ° C ± 1 ° C, kwa msaada wa vifaa vya halijoto vya usahihi wa hali ya juu, kama vile mfumo wa halijoto na unyevunyevu wa hali ya hewa, ufuatiliaji endelevu na marekebisho ya halijoto ya mazingira, ili kuhakikisha kwamba kushuka kwa joto katika safu ndogo sana, kudumisha utulivu wa ukubwa wa msingi, ili kuhakikisha kwamba moduli inafanya kazi kwa usahihi wa hali ya juu.
Pili, usimamizi wa unyevunyevu: ufunguo wa ulinzi dhidi ya unyevunyevu "jiwe"
Unyevu ni jambo lingine muhimu linaloathiri utendaji wa msingi wa granite wa usahihi. Katika mazingira yenye unyevunyevu mwingi, granite ni rahisi kunyonya mvuke wa maji, ambayo inaweza kusababisha mgandamizo kwenye uso, ambao hauathiri tu utulivu wa muunganisho wa granite na moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea kwa hewa, lakini pia inaweza kusababisha mmomonyoko wa uso na kupunguza mwangaza na usahihi kwa muda mrefu. Katika karakana ya kusaga lenzi za macho, ikiwa unyevunyevu ni wa juu kuliko 60%RH kwa muda mrefu, mvuke wa maji unaoingizwa kwenye uso wa msingi wa granite utaingiliana na mwendo wa kitelezi cha kuelea cha gesi, ili usahihi wa kusaga lenzi upungue, na uso uwe na dosari. Kwa hivyo, unyevunyevu wa mazingira ya kazi unapaswa kudhibitiwa vikali kati ya 40%-60%RH, ambao unaweza kufuatiliwa na kurekebishwa kwa wakati halisi kwa kusakinisha viondoa unyevunyevu, vitambuzi vya unyevunyevu na vifaa vingine ili kuepuka uharibifu wa msingi wa granite kutokana na unyevunyevu mwingi, na kuhakikisha uendeshaji mzuri wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea kwa hewa.
Tatu, dhamana ya usafi: "mlinzi" wa usahihi
Uharibifu wa chembe za vumbi kwenye msingi wa granite wa usahihi wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea hewa hauwezi kupuuzwa. Mara tu chembe ndogo zinapoingia kwenye pengo la filamu ya gesi kati ya kitelezi cha kuelea cha gesi na msingi wa granite, zinaweza kuharibu usawa wa filamu ya gesi, kuongeza msuguano, na hata kukwaruza uso wa msingi, na kusababisha usahihi mdogo wa mwendo. Katika karakana ya usindikaji wa usahihi wa hali ya juu wa sehemu za anga, ikiwa chembe za vumbi hewani zitaanguka kwenye msingi wa granite, njia ya mwendo wa kifaa cha usindikaji inaweza kupotoka, na kuathiri usahihi wa usindikaji wa sehemu hizo. Kwa hivyo, eneo la kazi linapaswa kuwekwa safi sana, kufikia viwango 10,000 au hata vya juu zaidi vya viwango vya usafi, kupitia usakinishaji wa vifaa vya kusafisha hewa, kama vile vichujio vya hewa vya ufanisi wa hali ya juu (HEPA), kuchuja chembe za vumbi hewani, wakati huo huo, wafanyakazi wanahitaji kuvaa nguo zisizo na vumbi, vifuniko vya viatu, n.k., ili kupunguza vumbi linaloletwa na wanadamu. Dumisha mazingira ya uendeshaji wa usahihi wa hali ya juu wa msingi wa granite na moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea hewa.
Nne, kutengwa kwa mtetemo: uendeshaji laini wa "pedi ya mshtuko"
Mtetemo wa nje ni adui wa usahihi wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea kwa hewa. Ingawa msingi wa granite wa usahihi una uwezo fulani wa kupunguza mtetemo, mtetemo wa nguvu ya juu bado unaweza kuvunja kikomo chake cha bafa. Mtetemo unaotokana na trafiki inayozunguka kiwanda na uendeshaji wa vifaa vikubwa vya mitambo hupitishwa kwenye msingi wa granite kupitia ardhi, ambayo itaingilia usahihi wa mwendo wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea kwa hewa. Katika CMM ya hali ya juu, mtetemo unaweza kusababisha mguso kati ya probe ya kupimia na kipini cha kazi kupimwa kuwa usio imara, na kusababisha kupotoka kwa data ya kipimo. Ili kutatua tatizo hili, ni muhimu kupitisha hatua madhubuti za kutenganisha mitetemo, kama vile kuweka pedi za kutenganisha mitetemo katika eneo la usakinishaji wa vifaa, kujenga msingi wa kutenganisha mitetemo, au kutumia mfumo hai wa kutenganisha mitetemo ili kukabiliana kikamilifu na mtetemo wa nje, na kuunda mazingira ya kazi tulivu na thabiti kwa msingi wa usahihi wa granite na moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea kwa hewa.
Ni kwa kukidhi kikamilifu mahitaji ya mazingira ya halijoto, unyevunyevu, usafi na udhibiti wa mtetemo, msingi wa usahihi wa granite wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea hewa unaweza kutoa faida zake kamili za utendaji, kutoa dhamana ya kuaminika kwa shughuli za usahihi wa hali ya juu katika nyanja mbalimbali, na kusaidia tasnia kuelekea kiwango cha juu cha utengenezaji wa usahihi wa hali ya juu na utafiti wa kisayansi.
Muda wa chapisho: Aprili-08-2025