Msingi wa Granite: Kwa nini ni "Mshirika wa dhahabu" wa mashine za Photolithography?

Katika utengenezaji wa semiconductor, mashine ya upigaji picha ni kifaa muhimu ambacho huamua usahihi wa chipsi, na msingi wa granite, pamoja na sifa zake nyingi, umekuwa sehemu ya lazima ya mashine ya upigaji picha.

Uthabiti wa joto: "Ngao" dhidi ya Mabadiliko ya Joto
Wakati mashine ya kupiga picha inafanya kazi, inazalisha kiasi kikubwa cha joto. Hata mabadiliko ya halijoto ya 0.1℃ pekee yanaweza kusababisha ulemavu wa vijenzi vya kifaa na kuathiri usahihi wa upigaji picha. Mgawo wa upanuzi wa joto wa granite ni wa chini sana, 4-8 × 10⁻⁶/℃ pekee, ambayo ni takriban 1/3 ya ile ya chuma na 1/5 ya ile ya aloi ya alumini. Hii huwezesha msingi wa granite kudumisha uthabiti wa mwelekeo wakati mashine ya kupiga picha inafanya kazi kwa muda mrefu au wakati halijoto ya mazingira inapobadilika, kuhakikisha uwekaji sahihi wa vipengele vya macho na miundo ya mitambo.

usahihi wa granite27

Utendaji bora wa kuzuia mtetemo: "Sifongo" ambayo inachukua mtetemo
Katika kiwanda cha semiconductor, uendeshaji wa vifaa vinavyozunguka na harakati za watu zinaweza kuzalisha vibrations. Granite ina msongamano mkubwa na muundo mgumu, na ina sifa bora za unyevu, na uwiano wa unyevu mara 2 hadi 5 kuliko wa metali. Wakati mitikisiko ya nje inapopitishwa kwenye msingi wa graniti, msuguano kati ya fuwele za madini ya ndani hubadilisha nishati ya mtetemo kuwa nishati ya joto kwa ajili ya kutawanywa, ambayo inaweza kupunguza kwa kiasi kikubwa mtetemo kwa muda mfupi, kuruhusu mashine ya fotolithografia kurejesha uthabiti haraka na kuepuka kutia ukungu au kusawazishwa vibaya kwa muundo wa fotolithografia kutokana na mtetemo.

Uthabiti wa Kemikali: "Mlinzi" wa Mazingira Safi
Mambo ya ndani ya mashine ya kupiga picha hugusana na vyombo vya habari mbalimbali vya kemikali, na vifaa vya kawaida vya chuma vinaweza kukabiliwa na kutu au kutolewa kwa chembe. Itale inaundwa na madini kama vile quartz na feldspar. Ina mali ya kemikali imara na upinzani mkali wa kutu. Baada ya kulowekwa katika ufumbuzi wa asidi na alkali, kutu ya uso ni ndogo sana. Wakati huo huo, muundo wake mnene hutoa karibu hakuna uchafu au vumbi, kukidhi mahitaji ya viwango vya juu zaidi vya usafi na kupunguza hatari ya uchafuzi wa kaki.

Kuchakata uwezo wa kubadilika: "Nyenzo bora" ya kuunda alama sahihi
Vipengele vya msingi vya mashine ya kupiga picha vinahitaji kusakinishwa kwenye uso wa kumbukumbu wa usahihi wa juu. Muundo wa ndani wa granite ni sare na ni rahisi kusindika kwa usahihi wa juu sana kupitia kusaga, kung'arisha na mbinu zingine. Usawa wake unaweza kufikia ≤0.5μm/m, na ukali wa uso wa Ra ni ≤0.05μm, ikitoa msingi sahihi wa usakinishaji wa vipengee kama vile lenzi za macho.

Muda mrefu wa maisha na bila matengenezo: "Zana kali" za kupunguza gharama
Ikilinganishwa na nyenzo za chuma ambazo zinaweza kukabiliwa na uchovu na kupasuka kwa matumizi ya muda mrefu, granite haipatikani na deformation ya plastiki au fracture chini ya mizigo ya kawaida, na hauhitaji matibabu ya uso, hivyo kuepuka hatari ya mipako ya mipako na uchafuzi. Katika matumizi ya vitendo, baada ya kutumika kwa miaka mingi, viashiria muhimu vya utendaji wa msingi wa granite bado vinaweza kubaki imara, kupunguza gharama za uendeshaji na matengenezo ya vifaa.

Kutoka kwa utulivu wa joto, upinzani wa vibration kwa inertness ya kemikali, sifa nyingi za msingi wa granite hukutana kikamilifu na mahitaji ya mashine ya photolithography. Mchakato wa utengenezaji wa chip unapoendelea kukua kuelekea usahihi wa hali ya juu, besi za graniti zitaendelea kuchukua jukumu lisiloweza kubadilishwa katika uwanja wa utengenezaji wa semiconductor.

Vyombo vya Kupima Usahihi


Muda wa kutuma: Mei-20-2025