Katika karakana ya utengenezaji wa nusu-semiconductor, mahitaji ya mchakato wa utengenezaji wa chipu kwa hali ya mazingira na usahihi wa vifaa ni makubwa sana, na kupotoka kidogo kunaweza kusababisha kupungua kwa mavuno ya chipu. Jukwaa la harakati za usahihi wa gantry la XYZT linategemea vipengele vya granite ili kushirikiana na sehemu zingine za jukwaa ili kujenga msingi imara wa kufikia usahihi wa nanoscale.
Sifa bora za kuzuia mtetemo
Katika karakana ya utengenezaji wa nusu-semiconductor, uendeshaji wa vifaa vya pembeni na wafanyakazi wanaotembea-tembea unaweza kusababisha mtetemo. Muundo wa ndani wa vipengele vya granite ni mnene na sare, ukiwa na sifa za asili za unyevu mwingi, kama "kizuizi" cha mtetemo chenye ufanisi. Wakati mtetemo wa nje unapopitishwa kwenye jukwaa la XYZT, sehemu ya granite inaweza kupunguza kwa ufanisi zaidi ya 80% ya nishati ya mtetemo na kupunguza mwingiliano wa mtetemo kwenye usahihi wa mwendo wa jukwaa. Wakati huo huo, jukwaa lina mfumo wa mwongozo wa kuelea hewa wenye usahihi wa hali ya juu, ambao hufanya kazi pamoja na vipengele vya granite. Mwongozo wa kuelea hewa hutumia filamu thabiti ya gesi inayoundwa na gesi yenye shinikizo kubwa ili kutambua harakati ya kusimamishwa bila kugusa ya sehemu zinazosogea za jukwaa na kupunguza mtetemo mdogo unaosababishwa na msuguano wa mitambo. Kwa pamoja, wawili hao wanahakikisha kwamba usahihi wa kuweka jukwaa unadumishwa kila wakati katika kiwango cha nanomita katika michakato muhimu kama vile lithografia ya chip na uchongaji, na kuepuka kupotoka kwa mifumo ya mzunguko wa chip unaosababishwa na mtetemo.
Utulivu bora wa joto
Kubadilika kwa halijoto na unyevunyevu katika karakana kuna ushawishi mkubwa juu ya usahihi wa vifaa vya utengenezaji wa chip. Mgawo wa upanuzi wa joto wa granite ni mdogo sana, kwa ujumla katika 5-7 × 10⁻⁶/℃, ukubwa huwa haubadiliki halijoto inapobadilika. Hata kama tofauti ya halijoto kati ya mchana na usiku katika karakana au uzalishaji wa joto wa vifaa husababisha halijoto ya mazingira kubadilika, vipengele vya granite vinaweza kubaki imara ili kuzuia ubadilikaji wa jukwaa kutokana na upanuzi na mkazo wa joto. Wakati huo huo, mfumo wa udhibiti wa halijoto wenye akili ulio na jukwaa hufuatilia halijoto ya mazingira kwa wakati halisi, hurekebisha kiotomatiki vifaa vya kiyoyozi na utengamano wa joto, na hudumisha halijoto ya karakana kwa 20 ° C ±1 ° C. Pamoja na faida za utulivu wa joto wa granite, hakikisha kwamba jukwaa katika operesheni ya muda mrefu, usahihi wa harakati za kila mhimili hukutana na viwango vya usahihi wa nanomita ya utengenezaji wa chip, ili kuhakikisha kwamba ukubwa wa muundo wa lithografia ya chip ni sahihi, kina cha kuchora ni sawa.
Kukidhi mahitaji ya mazingira safi
Karakana ya utengenezaji wa nusu-semiconductor inahitaji kudumisha usafi wa hali ya juu ili kuzuia chembe za vumbi kuchafua chipu. Nyenzo ya granite yenyewe haitoi vumbi, na uso ni laini, si rahisi kunyonya vumbi. Jukwaa kwa ujumla hutumia muundo wa muundo uliofungwa kikamilifu au nusu-imefungwa ili kupunguza kuingia kwa vumbi la nje. Mfumo wa mzunguko wa hewa wa ndani umeunganishwa na mfumo safi wa kiyoyozi cha karakana ili kuhakikisha kwamba usafi wa hewa wa ndani unafikia kiwango kinachohitajika na utengenezaji wa chipu. Katika mazingira haya safi, vipengele vya granite havitaathiri utendaji kutokana na mmomonyoko wa vumbi, na vipengele muhimu kama vile vitambuzi na mota za usahihi wa hali ya juu za jukwaa pia vinaweza kufanya kazi kwa utulivu, kutoa dhamana endelevu na ya kuaminika ya usahihi wa nanoscale kwa utengenezaji wa chipu, na kusaidia tasnia ya nusu-semiconductor kusonga hadi kiwango cha juu cha mchakato.
Muda wa chapisho: Aprili-14-2025