Katika warsha ya utengenezaji wa semiconductor, mahitaji ya mchakato wa utengenezaji wa chip kwa hali ya mazingira na usahihi wa vifaa ni ya juu sana, na kupotoka kidogo kunaweza kusababisha kupungua kwa kiasi kikubwa kwa mavuno ya chip. Jukwaa la harakati la usahihi la XYZT linategemea vipengele vya granite kushirikiana na sehemu nyingine za jukwaa ili kujenga msingi thabiti wa kufikia usahihi wa nanoscale.
Tabia bora za kuzuia vibration
Katika warsha ya utengenezaji wa semiconductor, uendeshaji wa vifaa vya pembeni na wafanyakazi wanaotembea karibu wanaweza kusababisha vibration. Muundo wa ndani wa vipengele vya granite ni mnene na sawa, na sifa za asili za unyevu, kama "kizuizi" cha vibration. Wakati mtetemo wa nje unapopitishwa kwenye jukwaa la XYZT, kijenzi cha granite kinaweza kupunguza kwa ufanisi zaidi ya 80% ya nishati ya mtetemo na kupunguza kuingiliwa kwa mtetemo kwenye usahihi wa mwendo wa jukwaa. Wakati huo huo, jukwaa lina vifaa vya juu vya usahihi wa mwongozo wa mwongozo wa kuelea hewa, ambao hufanya kazi kwa kushirikiana na vipengele vya granite. Mwongozo wa kuelea hewa hutumia filamu thabiti ya gesi inayoundwa na gesi ya shinikizo la juu ili kutambua harakati ya kusimamisha bila kugusa ya sehemu zinazosonga za jukwaa na kupunguza mtetemo mdogo unaosababishwa na msuguano wa mitambo. Kwa pamoja, mambo haya mawili yanahakikisha kwamba usahihi wa nafasi ya jukwaa unadumishwa kila wakati katika kiwango cha nanomita katika michakato muhimu kama vile lithography ya chip na etching, na kuepuka mkengeuko wa mifumo ya saketi za chipu unaosababishwa na mtetemo.
Utulivu bora wa joto
Kubadilika kwa joto na unyevu katika semina kuna ushawishi mkubwa juu ya usahihi wa vifaa vya utengenezaji wa chip. Mgawo wa upanuzi wa mafuta wa granite ni wa chini sana, kwa ujumla katika 5-7 × 10⁻⁶/℃, ukubwa huwa karibu bila kubadilika halijoto inapobadilika. Hata kama tofauti ya joto kati ya mchana na usiku katika warsha au uzalishaji wa joto wa vifaa husababisha joto la kawaida kubadilika, vipengele vya granite vinaweza kubaki imara ili kuzuia deformation ya jukwaa kutokana na upanuzi wa joto na kupungua. Wakati huo huo, mfumo wa udhibiti wa joto wenye akili unao na jukwaa hufuatilia hali ya joto ya kawaida kwa wakati halisi, hurekebisha kiyoyozi na vifaa vya kusambaza joto moja kwa moja, na kudumisha hali ya joto ya warsha kwa 20 ° C ± 1 ° C. Pamoja na faida za utulivu wa joto la granite, hakikisha kwamba jukwaa katika operesheni ya muda mrefu, usahihi wa utengenezaji wa kila wakati hukutana na usahihi wa utengenezaji wa kila wakati na kuhakikisha usahihi wa kila kifaa. Saizi ya muundo wa chip ni sahihi, kina cha etching ni sare.
Kukidhi mahitaji ya mazingira safi
Duka la kutengeneza semiconductor linahitaji kudumisha kiwango cha juu cha usafi ili kuzuia chembe za vumbi zisichafue chip. Nyenzo za granite yenyewe haitoi vumbi, na uso ni laini, si rahisi kunyonya vumbi. Jukwaa kwa ujumla linachukua muundo wa muundo uliofungwa kabisa au nusu-imefungwa ili kupunguza uingiaji wa vumbi la nje. Mfumo wa mzunguko wa hewa wa ndani unahusishwa na mfumo wa kiyoyozi safi wa warsha ili kuhakikisha kuwa usafi wa ndani wa hewa unafikia kiwango kinachohitajika na utengenezaji wa chip. Katika mazingira haya safi, vijenzi vya granite havitaathiri utendakazi kutokana na mmomonyoko wa vumbi, na vipengele muhimu kama vile vitambuzi vya usahihi wa hali ya juu na injini za jukwaa pia vinaweza kufanya kazi kwa utulivu, kutoa uhakikisho endelevu na unaotegemewa wa usahihi wa nanoscale kwa utengenezaji wa chip, na kusaidia tasnia ya semiconductor kuhamia kiwango cha juu zaidi cha mchakato.
Muda wa kutuma: Apr-14-2025