Katika uwanja wa ukaguzi wa kaki ya semiconductor, usafi wa mazingira ya chumba safi ni moja kwa moja kuhusiana na mazao ya bidhaa. Kadiri usahihi wa michakato ya utengenezaji wa chip unavyoendelea kuboreshwa, mahitaji ya majukwaa ya kubeba vifaa vya kugundua yanazidi kuwa magumu. Majukwaa ya granite, yenye sifa zake za kutolewa kwa ioni za chuma sifuri na uchafuzi mdogo wa chembe, yamepita nyenzo za jadi za chuma cha pua na kuwa suluhisho linalopendekezwa kwa vifaa vya ukaguzi wa kaki.
Granite ni mwamba wa asili wa moto unaojumuisha madini yasiyo ya metali kama vile quartz, feldspar na mica. Tabia hii inatoa faida ya kutolewa kwa ioni za chuma sifuri. Kinyume chake, chuma cha pua, kama aloi ya metali kama vile chuma, chromiamu na nikeli, huathirika na ulikaji wa kemikali ya kielektroniki kwenye uso wake kutokana na mmomonyoko wa mvuke wa maji na gesi zenye asidi au alkali katika mazingira ya chumba safi, na kusababisha kunyesha kwa ayoni za chuma kama vile Fe²⁺ na Cr³⁺. Mara tu ioni hizi ndogo zikishikamana na uso wa kaki, zitabadilisha sifa za umeme za nyenzo za semiconductor katika michakato inayofuata kama vile upigaji picha na etching, kusababisha kuteremka kwa voltage ya kizingiti cha transistor, na hata kusababisha saketi fupi kwenye saketi. Data ya majaribio ya taasisi ya kitaalamu inaonyesha kuwa baada ya jukwaa la granite kukabiliwa kwa mfululizo na halijoto safi ya chumba na unyevu ulioigizwa (23±0.5℃, 45%±5% RH) kwa saa 1000, kutolewa kwa ayoni za chuma kulikuwa chini ya kikomo cha utambuzi (< 0.1ppb). Kiwango cha kasoro cha kaki kinachosababishwa na uchafuzi wa ioni za chuma wakati wa kutumia majukwaa ya chuma cha pua kinaweza kuwa cha juu hadi 15% hadi 20%.
Kwa upande wa udhibiti wa uchafuzi wa chembe, majukwaa ya granite pia hufanya kazi vizuri sana. Vyumba vya usafi vina mahitaji ya juu sana kwa mkusanyiko wa chembe zilizosimamishwa hewani. Kwa mfano, katika vyumba vya usafi vya kiwango cha 1 cha ISO, idadi ya chembe 0.1μm zinazoruhusiwa kwa kila mita ya ujazo haizidi 10. Hata kama jukwaa la chuma cha pua limefanyiwa ung'arishaji, bado linaweza kutoa uchafu wa chuma au mizani ya oksidi inayoondolewa kutokana na nguvu za nje kama vile mtetemo wa kifaa na uendeshaji wa wafanyakazi, ambao unaweza kuingilia kati na njia ya macho ya kutambua au uso wa macho. Majukwaa ya granite, yenye muundo mnene wa madini (wiani ≥2.7g/cm³) na ugumu wa juu (6-7 kwenye mizani ya Mohs), huwa hayapewi kuchakaa au kuvunjika wakati wa matumizi ya muda mrefu. Vipimo vilivyopimwa vinaonyesha kuwa vinaweza kupunguza msongamano wa chembe zilizosimamishwa katika hewa ya eneo la vifaa vya kugundua kwa zaidi ya 40% ikilinganishwa na majukwaa ya chuma cha pua, kudumisha kwa ufanisi viwango vya daraja la chumba safi.
Mbali na sifa zake safi, utendaji wa kina wa majukwaa ya granite pia unazidi kwa mbali ule wa chuma cha pua. Kwa upande wa uthabiti wa joto, mgawo wake wa upanuzi wa mafuta ni (4-8) × 10⁻⁶/℃, chini ya nusu ya ile ya chuma cha pua (takriban 17×10⁻⁶/℃), ambayo inaweza kudumisha vizuri zaidi usahihi wa nafasi ya kifaa cha kutambua wakati halijoto katika chumba safi inapobadilika. Sifa ya juu ya unyevu (uwiano wa unyevu > 0.05) inaweza kupunguza kwa haraka mtetemo wa kifaa na kuzuia uchunguzi wa kutambua kutetereka. Upinzani wake wa asili wa kutu huiwezesha kubaki thabiti hata inapoathiriwa na vimumunyisho vya kupiga picha, gesi za etching na kemikali nyingine bila hitaji la ulinzi wa ziada wa mipako.
Kwa sasa, majukwaa ya granite hutumiwa sana katika mimea ya juu ya utengenezaji wa kaki. Data inaonyesha kuwa baada ya kutumia jukwaa la granite, kiwango cha hukumu isiyofaa ya ugunduzi wa chembe ya uso wa kaki imepungua kwa 60%, mzunguko wa urekebishaji wa vifaa umepanuliwa kwa mara tatu, na gharama ya jumla ya uzalishaji imeshuka kwa 25%. Sekta ya semiconductor inaposonga kuelekea usahihi wa hali ya juu, majukwaa ya granite, pamoja na faida zake kuu kama vile kutolewa kwa ioni ya chuma sifuri na uchafuzi wa chini wa chembe, itaendelea kutoa usaidizi thabiti na wa kutegemewa kwa ukaguzi wa kaki, kuwa nguvu muhimu inayoongoza maendeleo ya tasnia.
Muda wa kutuma: Mei-20-2025