Katika nyanja kama vile utengenezaji wa nusu-semiconductor na vifaa vya kupimia usahihi, usahihi wa majukwaa ya usahihi wa granite huamua moja kwa moja ubora wa uendeshaji wa vifaa. Ili kuhakikisha kwamba usahihi wa jukwaa unakidhi viwango, juhudi zinapaswa kufanywa kutoka kwa vipengele viwili: kugundua viashiria muhimu na kufuata kanuni za kawaida.
Ugunduzi wa kiashiria cha msingi: Udhibiti wa usahihi wa vipimo vingi
Ugunduzi wa ulalo: Kubaini "ulalo" wa ndege ya marejeleo
Ulalo ni kiashiria kikuu cha majukwaa ya usahihi wa granite, na kwa kawaida hupimwa kwa kutumia vipima joto vya leza au viwango vya kielektroniki. Kipima joto cha leza kinaweza kupima kwa usahihi miinuko ya dakika kwenye uso wa jukwaa kwa kutoa boriti ya leza na kutumia kanuni ya kuingiliwa kwa mwanga, kwa usahihi unaofikia kiwango cha micron ndogo. Kiwango cha kielektroniki hupima kwa kusogea mara nyingi na kuchora ramani ya mtaro wa pande tatu wa uso wa jukwaa ili kugundua kama kuna miinuko yoyote ya ndani au mashimo. Kwa mfano, majukwaa ya granite yanayotumika katika mashine za upigaji picha za nusu mita yanahitajika kuwa na ulalo wa ±0.5μm/m, ikimaanisha kuwa tofauti ya urefu ndani ya urefu wa mita 1 haipaswi kuzidi nusu mita. Ni kupitia vifaa vya kugundua usahihi wa hali ya juu pekee ndipo kiwango hiki kali kinaweza kuhakikishwa.
2. Ugunduzi wa unyoofu: Hakikisha "unyoofu" wa mwendo wa mstari
Kwa majukwaa yanayobeba sehemu zinazosogea kwa usahihi, unyoofu ni muhimu sana. Njia za kawaida za kugundua ni njia ya waya au kollimator ya leza. Njia ya waya inahusisha kusimamisha waya za chuma zenye usahihi wa hali ya juu na kulinganisha pengo kati ya uso wa jukwaa na waya za chuma ili kubaini unyoofu. Kollimator ya leza hutumia sifa za uenezaji wa mstari wa leza ili kugundua hitilafu ya mstari wa uso wa usakinishaji wa reli ya mwongozo wa jukwaa. Ikiwa unyoofu haufikii kiwango, utasababisha vifaa kuhama wakati wa harakati, na kuathiri usahihi wa usindikaji au kipimo.
3. Ugunduzi wa ukali wa uso: Hakikisha "unene" wa mguso
Ukwaru wa uso wa jukwaa huathiri ufaa wa usakinishaji wa vipengele. Kwa ujumla, kipima ukwaru wa kalamu au darubini ya macho hutumika kwa ajili ya kugundua. Kifaa cha aina ya kalamu hurekodi mabadiliko ya urefu wa wasifu wa hadubini kwa kugusa uso wa jukwaa kwa kutumia probe ndogo. Darubini za macho zinaweza kuchunguza moja kwa moja umbile la uso. Katika matumizi ya usahihi wa hali ya juu, ukwaru wa uso wa majukwaa ya granite unahitaji kudhibitiwa kwa Ra≤0.05μm, ambayo ni sawa na athari kama ya kioo, kuhakikisha kwamba vipengele vya usahihi vinashikamana vizuri wakati wa usakinishaji na kuepuka mtetemo au kuhama kunakosababishwa na mapengo.
Viwango vya usahihi vinafuata: kanuni za kimataifa na udhibiti wa ndani wa biashara
Kwa sasa, kimataifa, viwango vya ISO 25178 na GB/T 24632 hutumiwa kwa kawaida kama msingi wa kubaini usahihi wa majukwaa ya granite, na kuna uainishaji wazi wa viashiria kama vile ulalo na unyoofu. Zaidi ya hayo, makampuni ya utengenezaji wa hali ya juu mara nyingi huweka viwango vikali zaidi vya udhibiti wa ndani. Kwa mfano, hitaji la ulalo kwa jukwaa la granite la mashine ya fotolithografia ni 30% ya juu kuliko kiwango cha kimataifa. Wakati wa kufanya majaribio, data iliyopimwa inapaswa kulinganishwa na viwango vinavyolingana. Majukwaa pekee yanayofuata viwango ndiyo yanayoweza kuhakikisha utendaji thabiti katika vifaa vya usahihi.
Kukagua usahihi wa majukwaa ya usahihi wa granite ni mradi wa kimfumo. Ni kwa kupima viashiria vya msingi kama vile ulalo, unyoofu, na ukali wa uso, na kuzingatia viwango vya kimataifa na vya biashara, ndipo usahihi na uaminifu wa jukwaa unaweza kuhakikishwa, na kuweka msingi imara wa nyanja za utengenezaji wa hali ya juu kama vile semiconductors na vifaa vya usahihi.
Muda wa chapisho: Mei-21-2025