Katika nyanja kama vile utengenezaji wa semiconductor na zana za kupima usahihi, usahihi wa majukwaa ya usahihi wa graniti huamua moja kwa moja ubora wa uendeshaji wa kifaa. Ili kuhakikisha kwamba usahihi wa jukwaa unaafiki viwango, jitihada zinapaswa kufanywa kutoka kwa vipengele viwili: ugunduzi wa viashirio muhimu na kufuata kanuni za kawaida. .
Ugunduzi wa kiashirio cha msingi: Udhibiti wa usahihi wa pande nyingi
Utambuzi wa gorofa: Kuamua "gorofa" ya ndege ya kumbukumbu
Utulivu ni kiashirio kikuu cha majukwaa ya usahihi ya granite, na kwa kawaida hupimwa kwa viingilizi vya leza au viwango vya kielektroniki. Kiingilizi cha leza kinaweza kupima kwa usahihi mitetemo ya dakika kwenye uso wa jukwaa kwa kutoa miale ya leza na kutumia kanuni ya mwingiliano wa mwanga, kwa usahihi kufikia kiwango cha micron ndogo. Kiwango cha kielektroniki hupima kwa kusogea mara nyingi na kuchora ramani ya mchoro yenye sura tatu ya uso wa jukwaa ili kutambua kama kuna miinuko au miteremko ya ndani. Kwa mfano, majukwaa ya granite yanayotumika katika mashine za upigaji picha za semiconductor yanahitajika kuwa na ulaini wa ±0.5μm/m, kumaanisha kuwa tofauti ya urefu ndani ya urefu wa mita 1 haipaswi kuzidi nusu mikromita. Ni kwa njia ya vifaa vya kugundua usahihi wa hali ya juu tu ndipo kiwango hiki madhubuti kinaweza kuhakikishwa. .
2. Utambuzi wa unyoofu: Hakikisha "unyoofu" wa mwendo wa mstari
Kwa majukwaa ambayo hubeba sehemu zinazosonga kwa usahihi, unyoofu ni muhimu sana. Njia za kawaida za kugundua ni njia ya waya au collimator ya laser. Njia ya waya inahusisha kusimamisha waya za chuma zenye usahihi wa hali ya juu na kulinganisha pengo kati ya uso wa jukwaa na waya za chuma ili kuamua unyoofu. Leza ya kolimata hutumia sifa za uenezi za mstari wa leza ili kugundua hitilafu ya mstari wa uso wa usakinishaji wa reli ya mwongozo wa jukwaa. Ikiwa unyoofu haufikii kiwango, itasababisha vifaa kuhama wakati wa harakati, na kuathiri usahihi wa usindikaji au kipimo. .
3. Utambuzi wa ukali wa uso: Hakikisha "uzuri" wa mguso
Ukali wa uso wa jukwaa huathiri kufaa kwa ufungaji wa sehemu. Kwa ujumla, mita ya ukali wa stylus au darubini ya macho hutumiwa kutambua. Chombo cha aina ya kalamu hurekodi mabadiliko ya urefu wa wasifu hadubini kwa kuwasiliana na uso wa jukwaa na uchunguzi mzuri. Hadubini za macho zinaweza kutazama moja kwa moja umbile la uso. Katika programu za usahihi wa hali ya juu, ukali wa uso wa majukwaa ya graniti unahitaji kudhibitiwa kwa Ra≤0.05μm, ambayo ni sawa na athari inayofanana na kioo, kuhakikisha kuwa vipengee vya usahihi vinatoshea vizuri wakati wa usakinishaji na kuepuka mtetemo au uhamishaji unaosababishwa na mapengo. .
Viwango vya usahihi vinafuata: kanuni za kimataifa na udhibiti wa ndani wa biashara
Kwa sasa, kimataifa, viwango vya ISO 25178 na GB/T 24632 hutumiwa kwa kawaida kama msingi wa kubainisha usahihi wa majukwaa ya granite, na kuna uainishaji wazi wa viashirio kama vile ubapa na unyofu. Kwa kuongezea, makampuni ya biashara ya hali ya juu mara nyingi huweka viwango vikali vya udhibiti wa ndani. Kwa mfano, hitaji la kujaa kwa jukwaa la granite la mashine ya kupiga picha ni 30% ya juu kuliko kiwango cha kimataifa. Wakati wa kufanya vipimo, data iliyopimwa inapaswa kulinganishwa na viwango vinavyolingana. Majukwaa tu ambayo yanatii viwango kikamilifu yanaweza kuhakikisha utendakazi thabiti katika vifaa vya usahihi. .
Kukagua usahihi wa majukwaa ya usahihi ya granite ni mradi wa kimfumo. Ni kwa kupima viashiria vya msingi tu kama vile ubapa, unyoofu na ukali wa uso, na kuzingatia viwango vya kimataifa na vya biashara, ndipo usahihi wa hali ya juu na utegemezi wa jukwaa kuhakikishwa, kwa kuweka msingi thabiti wa uga za utengenezaji wa hali ya juu kama vile halvledare na ala za usahihi.
Muda wa kutuma: Mei-21-2025