Nyenzo za granite hutumika sana katika tasnia ya nusu-semiconductor kutokana na sifa zake bora, kama vile uthabiti wa juu, upanuzi mdogo wa joto, na upinzani mkubwa dhidi ya kutu. Sifa hizi hufanya granite kuwa nyenzo bora ya kujenga vipengele vya usahihi wa juu katika mfumo wa uhamishaji wa wafer.
Katika mchakato wa utengenezaji wa nusu-semiconductor, mfumo wa uhamishaji wa wafer una jukumu muhimu katika kusafirisha wafer katika hatua tofauti za mchakato wa utengenezaji. Usahihi na usahihi ni mahitaji muhimu kwa mifumo hii kwani hata kupotoka kidogo kunaweza kuhatarisha mchakato mzima. Kwa hivyo, vipengele katika mfumo wa uhamishaji wa wafer lazima vifanywe kwa nyenzo za ubora wa juu, na granite inakidhi vigezo hivyo.
Baadhi ya sehemu za mfumo wa uhamishaji wa wafer ambazo zimetengenezwa kwa nyenzo za granite ni pamoja na:
1. Meza ya Chuck ya Vuta
Meza ya chuki ya utupu hutumika kushikilia wafer wakati wa mchakato, na lazima iwe na uso thabiti ili kuhakikisha wafer haiharibiki. Granite ni nyenzo bora ya kutengeneza meza hii kwa sababu ina uso tambarare, usio na vinyweleo ambao hutoa utulivu na usahihi wa hali ya juu. Zaidi ya hayo, granite ina mgawo mdogo wa upanuzi wa joto, na kuifanya iwe sugu kwa mabadiliko ya halijoto ambayo yanaweza kusababisha mabadiliko ya vipimo katika wafer.
2. Hatua ya Kubeba Hewa
Hatua ya kubeba hewa hutumika kusafirisha wafer kupitia hatua tofauti za mchakato wa utengenezaji. Hatua hiyo imeundwa ili kutoa mwendo usio na msuguano, ambao unahitaji usahihi na uthabiti wa hali ya juu. Granite hutumika katika matumizi haya kwa sababu ni jiwe gumu na gumu, na hupinga ubadilikaji na uchakavu baada ya muda.
3. Miongozo ya Mwendo wa Mstari
Miongozo ya mwendo wa mstari hutumika kuongoza hatua ya kubeba hewa, na lazima iwekwe kwa usahihi ili kupunguza makosa. Granite hutumika kujenga mwongozo huu kwa sababu una uthabiti na nguvu bora ya kiufundi. Nyenzo pia hustahimili kutu, ambayo inahakikisha uimara wa mfumo wa mwongozo.
4. Vifaa vya Metrology
Vifaa vya upimaji hutumika kupima vipimo na sifa za wafer wakati wa mchakato wa utengenezaji. Granite ni nyenzo bora kwa ajili ya kujenga kifaa hiki kwa sababu kina ugumu mkubwa, upanuzi mdogo, na mabadiliko madogo chini ya mzigo. Zaidi ya hayo, uthabiti wa joto wa granite huhakikisha kwamba kifaa cha upimaji kinabaki thabiti na sahihi baada ya muda.
Kwa kumalizia, tasnia ya nusu-semiconductor inategemea usahihi na usahihi, na nyenzo za granite zimethibitishwa kuwa za kuaminika sana na thabiti katika mchakato wa utengenezaji. Kwa kuwa na vipengele vingi muhimu katika mfumo wa uhamishaji wa wafer vinavyohitaji utulivu wa juu, usahihi, na upanuzi mdogo wa joto, wahandisi wamegeukia nyenzo za granite ili kukidhi mahitaji haya muhimu.
Muda wa chapisho: Machi-19-2024