Katika mnyororo sahihi wa utengenezaji wa nusu-semiconductor, mfumo wa uhamishaji wa wafer ni kama "mstari wa maisha wa mstari wa uzalishaji wa chipu", na uthabiti na usahihi wake huamua moja kwa moja kiwango cha mavuno ya chipu. Kizazi kipya cha mifumo ya uhamishaji wa wafer huchanganya kwa mapinduzi motors za mstari na besi za granite, na faida za kipekee za nyenzo za granite ni kanuni kuu ya kufungua upitishaji wa utendaji wa hali ya juu.
.
Msingi wa granite: Kujenga "msingi imara kama mwamba" kwa ajili ya usafirishaji thabiti
Itale, baada ya kupitia mamia ya mamilioni ya miaka ya uboreshaji wa kijiolojia, ina uundaji wa madini mnene na sare ndani. Sifa hii ya asili huifanya kuwa nyenzo bora ya msingi kwa mifumo ya uhamishaji wa wafer. Katika mazingira tata ya vyumba vya usafi vya nusu-semiconductor, granite, yenye mgawo wake wa chini sana wa upanuzi wa joto (5-7 × 10⁻⁶/℃ pekee), inaweza kupinga joto linalotokana wakati wa uendeshaji wa vifaa na ushawishi wa mabadiliko ya halijoto ya mazingira, kuhakikisha uthabiti wa ukubwa wa msingi na kuepuka kupotoka kwa njia ya upitishaji unaosababishwa na mabadiliko ya joto. Utendaji wake bora wa kupunguza mtetemo unaweza kunyonya haraka mitetemo ya mitambo inayotokana wakati wa kuanza, kuzima na kuongeza kasi ya mota za mstari, pamoja na usumbufu wa nje unaoletwa na uendeshaji wa vifaa vingine kwenye karakana, kutoa jukwaa thabiti lenye "kutetemeka sifuri" kwa upitishaji wa wafer.
Wakati huo huo, uthabiti wa kemikali wa granite huhakikisha kwamba haitungui au kutu katika karakana za nusu-semiconductor ambapo vitendanishi vya asidi na alkali ni tete na usafi wa hali ya juu unahitajika, hivyo kuepuka athari kwenye usahihi wa upitishaji kutokana na kuzeeka kwa nyenzo au ufyonzaji wa uchafuzi. Sifa laini na zenye mnene za uso zinaweza kupunguza kwa ufanisi zaidi mshikamano wa vumbi, kukidhi viwango vikali vya vyumba safi visivyo na vumbi na kuondoa hatari ya uchafuzi wa wafer kutoka kwenye mizizi.
Athari ya "ushirikiano wa dhahabu" wa mota za mstari na granite
Mota za mstari, zenye sifa za kutokuwa na uwazi wa upitishaji wa mitambo, kasi ya juu na kasi ya mwitikio wa juu, huwezesha upitishaji wa wafer wenye faida za "haraka, sahihi na thabiti". Msingi wa granite hutoa jukwaa thabiti na la kuaminika la usaidizi kwa ajili yake. Zote mbili hufanya kazi pamoja ili kufikia kiwango cha juu cha utendaji. Wakati mota ya mstari inapoendesha kibebaji cha wafer ili kiendeshe kwenye njia ya msingi wa granite, ugumu na uthabiti mkubwa wa msingi huhakikisha upitishaji mzuri wa nguvu ya kuendesha injini, kuepuka upotevu wa nguvu au ucheleweshaji wa upitishaji unaosababishwa na mabadiliko ya msingi.
Kwa kuendeshwa na mahitaji ya usahihi wa nanoscale, mota za mstari zinaweza kufikia udhibiti wa uhamishaji wa kiwango cha chini cha micron. Sifa za usindikaji wa usahihi wa hali ya juu wa besi za granite (zikiwa na hitilafu za ulalo zinazodhibitiwa ndani ya ±1μm) zinalingana kikamilifu na udhibiti sahihi wa mota za mstari, kwa pamoja kuhakikisha kwamba hitilafu ya uwekaji wakati wa upitishaji wa wafer ni chini ya ±5μm. Iwe ni uhamishaji wa kasi ya juu kati ya vifaa mbalimbali vya mchakato au maegesho sahihi kwa ajili ya ukabidhi wafer, mchanganyiko wa mota za mstari na besi za granite unaweza kuhakikisha "kupotoka sifuri na sifuri jitter" katika upitishaji wa wafer.
Uthibitishaji wa utendaji wa sekta: Uboreshaji maradufu katika ufanisi na kiwango cha mavuno
Baada ya kuboresha mfumo wake wa uhamisho wa wafer, kampuni inayoongoza duniani ya semiconductor ilitumia suluhisho la msingi wa injini ya mstari + granite, ambalo liliongeza ufanisi wa uhamisho wa wafer kwa 40%, lilipunguza kiwango cha kutokea kwa hitilafu kama vile mgongano na upunguzaji wakati wa mchakato wa uhamisho kwa 85%, na kuboresha kiwango cha jumla cha mavuno ya chips kwa 6%. Nyuma ya data kuna dhamana ya uthabiti wa usafirishaji unaotolewa na msingi wa granite na athari ya kasi ya juu na sahihi ya ushirikiano wa motor ya mstari, ambayo hupunguza kwa kiasi kikubwa hasara na makosa katika mchakato wa uhamisho wa wafer.
Kuanzia sifa za nyenzo hadi utengenezaji wa usahihi, kuanzia faida za utendaji hadi uthibitishaji wa vitendo, mchanganyiko wa mota za mstari na besi za granite umefafanua upya viwango vya mifumo ya uhamishaji wa wafer. Katika siku zijazo teknolojia ya nusu-semiconductor itakapoendelea kuelekea michakato ya 3nm na 2nm, nyenzo za granite hakika zitaendelea kuingiza msukumo mkubwa katika maendeleo ya tasnia kwa faida zake zisizoweza kubadilishwa.
Muda wa chapisho: Mei-14-2025