.
Katika tasnia ya semiconductor, ukaguzi wa kaki ni kiungo muhimu cha kuhakikisha ubora na utendakazi wa chip, na usahihi na uthabiti wa jedwali la ukaguzi huchukua jukumu muhimu katika matokeo ya ugunduzi. Msingi wa granite na sifa zake za kipekee, kuwa chaguo bora kwa jedwali la ukaguzi la kaki ya semiconductor, yafuatayo kutoka kwa uchanganuzi wa pande nyingi kwako. .
Kwanza, kipimo cha dhamana ya usahihi
1. Ulalo wa hali ya juu na unyofu: Msingi wa graniti huchakatwa na teknolojia ya hali ya juu ya usindikaji, na usawaziko unaweza kufikia ±0.001mm/m au hata usahihi wa juu zaidi, na unyoofu pia ni bora. Katika mchakato wa ukaguzi wa kaki, ndege ya usahihi wa juu hutoa usaidizi thabiti kwa kaki na kuhakikisha mawasiliano sahihi kati ya uchunguzi wa vifaa vya ukaguzi na viungo vya solder kwenye uso wa kaki. .
2. Mgawo wa chini sana wa upanuzi wa mafuta: utengenezaji wa semiconductor ni nyeti kwa mabadiliko ya joto, na mgawo wa upanuzi wa joto wa granite ni wa chini sana, kwa kawaida kuhusu 5×10⁻⁶/℃. Wakati mfumo wa utambuzi unafanya kazi, hata kama halijoto iliyoko inabadilika, saizi ya msingi wa granite hubadilika kidogo sana. Kwa mfano, katika warsha ya halijoto ya juu katika majira ya joto, joto la jukwaa la kawaida la ugunduzi wa msingi wa chuma linaweza kusababisha nafasi ya jamaa ya kaki na vifaa vya kugundua kuhama, na kuathiri usahihi wa kutambua; Jukwaa la utambuzi wa msingi wa graniti linaweza kudumisha uthabiti, kuhakikisha usahihi wa nafasi ya kaki na vifaa vya kugundua wakati wa mchakato wa kugundua, na kutoa mazingira thabiti kwa ugunduzi wa usahihi wa juu. .
Pili, mwelekeo wa utulivu
1. Muundo thabiti na upinzani wa vibration: Granite baada ya mamilioni ya miaka ya michakato ya kijiolojia, muundo wa ndani ni mnene na sare. Katika mazingira magumu ya kiwanda cha semiconductor, vibration inayotokana na uendeshaji wa vifaa vya pembeni na wafanyakazi wanaotembea karibu hupunguzwa kwa ufanisi na msingi wa granite. .
2. Usahihi wa matumizi ya muda mrefu: ikilinganishwa na vifaa vingine, granite ina ugumu wa juu, upinzani mkali wa kuvaa, na ugumu wa Mohs unaweza kufikia 6-7. Uso wa msingi wa granite hauvaliwi kwa urahisi wakati wa upakiaji wa kaki wa mara kwa mara, upakuaji na shughuli za ukaguzi. Kulingana na matumizi halisi ya takwimu za data, matumizi ya meza ya upimaji wa msingi wa granite, operesheni inayoendelea baada ya masaa 5000, usawa wa usawa na usahihi wa usawa bado unaweza kudumishwa kwa zaidi ya 98% ya usahihi wa awali, kupunguza vifaa kwa sababu ya kuvaa kwa msingi unaosababishwa na urekebishaji wa kawaida na nyakati za matengenezo, kupunguza gharama za uendeshaji wa biashara, ili kuhakikisha utulivu wa muda mrefu wa kazi. .
Tatu, mwelekeo safi na wa kupinga kuingiliwa
1. Uzalishaji wa vumbi la chini: mazingira ya utengenezaji wa semiconductor yanahitaji kuwa safi sana, na nyenzo za granite yenyewe ni imara na si rahisi kuzalisha chembe za vumbi. Wakati wa uendeshaji wa jukwaa la mtihani, vumbi vinavyotokana na msingi huepukwa ili kuchafua kaki, na hatari ya mzunguko mfupi na mzunguko wa wazi unaosababishwa na chembe za vumbi hupunguzwa. Katika eneo la ukaguzi wa kaki la warsha isiyo na vumbi, mkusanyiko wa vumbi karibu na meza ya ukaguzi wa msingi wa granite daima hudhibitiwa kwa kiwango cha chini sana, kukidhi mahitaji magumu ya usafi wa sekta ya semiconductor. .
2. Hakuna kuingiliwa kwa sumaku: vifaa vya kugundua ni nyeti kwa mazingira ya sumakuumeme, na granite ni nyenzo isiyo ya sumaku, ambayo haitaingiliana na ishara ya elektroniki ya vifaa vya kugundua. Katika matumizi ya ugunduzi wa boriti ya elektroni na teknolojia nyingine za kupima ambazo zinahitaji mazingira ya juu sana ya sumakuumeme, msingi wa granite huhakikisha upitishaji thabiti wa mawimbi ya kielektroniki ya vifaa vya kugundua na kuhakikisha usahihi wa matokeo ya majaribio. Kwa mfano, kaki inapojaribiwa kwa usahihi wa juu wa utendakazi wa umeme, msingi wa granite usio na sumaku huepuka kuingiliwa na utambuzi wa sasa na ishara za voltage, ili data ya utambuzi iakisi sifa za umeme za kaki.
Muda wa posta: Mar-31-2025