.
Katika tasnia ya semiconductor, ukaguzi wa wafer ni kiungo muhimu cha kuhakikisha ubora na utendaji wa chipu, na usahihi na uthabiti wa jedwali la ukaguzi huchukua jukumu muhimu katika matokeo ya kugundua. Msingi wa granite wenye sifa zake za kipekee, huwa chaguo bora kwa jedwali la ukaguzi wa wafer wa semiconductor, yafuatayo kutoka kwa uchambuzi wa pande nyingi kwako.
Kwanza, kipimo cha dhamana ya usahihi
1. Ulalo na unyoofu wa hali ya juu sana: Msingi wa granite husindikwa kwa teknolojia ya hali ya juu ya usindikaji, na ulalo unaweza kufikia ± 0.001mm/m au usahihi wa juu zaidi, na unyoofu pia ni bora. Katika mchakato wa ukaguzi wa wafer, ndege ya usahihi wa juu hutoa usaidizi thabiti kwa wafer na kuhakikisha mguso sahihi kati ya probe ya vifaa vya ukaguzi na viungo vya solder kwenye uso wa wafer.
2. Mgawo mdogo sana wa upanuzi wa joto: utengenezaji wa nusu-sekondi ni nyeti kwa mabadiliko ya halijoto, na mgawo wa upanuzi wa joto wa granite ni mdogo sana, kwa kawaida takriban 5×10⁻⁶/℃. Wakati jukwaa la kugundua linapoendeshwa, hata kama halijoto ya mazingira hubadilika, ukubwa wa msingi wa granite hubadilika kidogo sana. Kwa mfano, katika karakana ya halijoto ya juu wakati wa kiangazi, halijoto ya jukwaa la kawaida la kugundua msingi wa chuma inaweza kusababisha nafasi ya jamaa ya wafer na vifaa vya kugundua kuhama, na kuathiri usahihi wa kugundua; Jukwaa la kugundua msingi wa granite linaweza kudumisha utulivu, kuhakikisha usahihi wa nafasi ya jamaa ya wafer na vifaa vya kugundua wakati wa mchakato wa kugundua, na kutoa mazingira thabiti ya kugundua kwa usahihi wa hali ya juu.
Pili, kipimo cha utulivu
1. Muundo thabiti na upinzani wa mitetemo: Granite baada ya mamilioni ya miaka ya michakato ya kijiolojia, muundo wa ndani ni mnene na sawa. Katika mazingira tata ya kiwanda cha nusu-semiconductor, mitetemo inayotokana na uendeshaji wa vifaa vya pembeni na wafanyakazi wanaotembea hupunguzwa kwa ufanisi na msingi wa granite.
2. Usahihi wa matumizi ya muda mrefu: ikilinganishwa na vifaa vingine, granite ina ugumu wa juu, upinzani mkubwa wa uchakavu, na ugumu wa Mohs unaweza kufikia 6-7. Uso wa msingi wa granite hauvaliki kwa urahisi wakati wa shughuli za upakiaji, upakuaji na ukaguzi wa mara kwa mara. Kulingana na matumizi halisi ya takwimu za data, matumizi ya jedwali la upimaji wa msingi wa granite, operesheni endelevu baada ya saa 5000, ulalo na usahihi wa unyoofu bado unaweza kudumishwa kwa zaidi ya 98% ya usahihi wa awali, kupunguza vifaa kutokana na uchakavu wa msingi unaosababishwa na nyakati za kawaida za urekebishaji na matengenezo, kupunguza gharama za uendeshaji wa biashara, ili kuhakikisha utulivu wa muda mrefu wa kazi ya upimaji.
Tatu, kipimo safi na cha kuzuia kuingiliwa
1. Uzalishaji mdogo wa vumbi: mazingira ya utengenezaji wa nusu-sekunde yanahitaji kuwa safi sana, na nyenzo ya granite yenyewe ni thabiti na si rahisi kutoa chembe za vumbi. Wakati wa uendeshaji wa jukwaa la majaribio, vumbi linalozalishwa na msingi huepukwa ili kuchafua wafer, na hatari ya mzunguko mfupi na mzunguko wazi unaosababishwa na chembe za vumbi hupunguzwa. Katika eneo la ukaguzi wa wafer la karakana isiyo na vumbi, mkusanyiko wa vumbi kuzunguka meza ya ukaguzi wa msingi wa granite hudhibitiwa kila wakati kwa kiwango cha chini sana, ikikidhi mahitaji magumu ya usafi wa tasnia ya nusu-sekunde.
2. Hakuna mwingiliano wa sumaku: vifaa vya kugundua ni nyeti kwa mazingira ya sumaku-umeme, na granite ni nyenzo isiyo ya sumaku, ambayo haitaingiliana na ishara ya kielektroniki ya vifaa vya kugundua. Katika matumizi ya ugunduzi wa boriti ya elektroni na teknolojia zingine za upimaji zinazohitaji mazingira ya juu sana ya sumaku-umeme, msingi wa granite huhakikisha upitishaji thabiti wa ishara ya kielektroniki ya vifaa vya kugundua na kuhakikisha usahihi wa matokeo ya majaribio. Kwa mfano, wakati wafer inajaribiwa kwa utendaji wa umeme wa usahihi wa hali ya juu, msingi wa granite usio wa sumaku huepuka kuingiliana na ishara za mkondo wa kugundua na volteji, ili data ya kugundua iakisi sifa za umeme za wafer kweli.
Muda wa chapisho: Machi-31-2025