Katika mchakato wa tasnia ya semiconductor kuelekea michakato ya utengenezaji wa nanoscale, kukata kaki, kama kiunga muhimu katika utengenezaji wa chip, kuna mahitaji madhubuti sana ya uthabiti wa vifaa. Msingi wa granite, pamoja na upinzani wake bora wa mtetemo na uthabiti wa joto, umekuwa sehemu ya msingi ya vifaa vya kukata kaki, kutoa dhamana ya kuaminika ya kufikia usindikaji wa kaki wa usahihi wa hali ya juu na ufanisi wa juu. .
Sifa za juu za unyevu na za kuzuia mtetemo: Kulinda usahihi wa kukata kwa kiwango cha nano
Wakati kifaa cha kukata kaki kinafanya kazi, mzunguko wa kasi wa spindle, vibration ya juu-frequency ya chombo cha kukata, na mtetemo wa mazingira unaotokana na vifaa vinavyozunguka vyote vitakuwa na athari kubwa kwenye usahihi wa kukata. Utendaji wa kudhoofisha wa besi za jadi za chuma ni mdogo, hivyo kufanya iwe vigumu kupunguza kwa haraka mitetemo, ambayo husababisha jita ya kiwango cha micron ya zana za kukata na kusababisha moja kwa moja kasoro kama vile kingo zilizopigwa na nyufa kwenye kaki. Tabia za juu za unyevu wa msingi wa granite zimetatua tatizo hili kimsingi. .
Fuwele za madini ya ndani ya granite zimeunganishwa kwa karibu, na kutengeneza muundo wa kutoweka kwa nishati ya asili. Mtetemo unapopitishwa kwenye msingi, muundo wa ndani wa ndani unaweza kubadilisha kwa haraka nishati ya mtetemo kuwa nishati ya joto, na hivyo kufikia upunguzaji mzuri wa mtetemo. Data ya majaribio inaonyesha kuwa chini ya mazingira sawa ya mtetemo, msingi wa granite unaweza kupunguza amplitude ya mtetemo kwa zaidi ya 90% ndani ya sekunde 0.5, wakati msingi wa chuma unahitaji sekunde 3 hadi 5. Utendaji huu bora wa unyevu huhakikisha kuwa zana ya kukata inasalia thabiti wakati wa mchakato wa kukata nanoscale, hakikisha ukingo laini wa ukataji wa kaki na kupunguza kasi ya kuchakata. Kwa mfano, katika mchakato wa kukata kaki wa nm 5, vifaa vilivyo na msingi wa granite vinaweza kudhibiti ukubwa wa chipping ndani ya 10μm, ambayo ni zaidi ya 40% ya juu kuliko ile ya vifaa vilivyo na msingi wa chuma. .
Mgawo wa chini sana wa upanuzi wa joto: Inastahimili ushawishi wa mabadiliko ya joto
Wakati wa mchakato wa kukata kaki, joto linalotokana na msuguano wa zana za kukata, uharibifu wa joto kutoka kwa uendeshaji wa muda mrefu wa vifaa, na mabadiliko ya hali ya joto ya mazingira ya warsha yanaweza kusababisha deformation ya joto ya vipengele vya vifaa. Mgawo wa upanuzi wa joto wa vifaa vya metali ni wa juu (takriban 12×10⁻⁶/℃). Halijoto inapobadilika kwa 5℃, msingi wa chuma wenye urefu wa mita 1 unaweza kuharibika kwa 60μm, na kusababisha nafasi ya kukata kuhama na kuathiri sana usahihi wa kukata. .
Mgawo wa upanuzi wa joto wa msingi wa granite ni (4-8) × 10⁻⁶/℃ tu, ambayo ni chini ya theluthi moja ya ile ya vifaa vya chuma. Chini ya mabadiliko sawa ya joto, mabadiliko yake ya dimensional yanaweza kupuuzwa. Data iliyopimwa ya biashara fulani ya utengenezaji wa semiconductor inaonyesha kuwa wakati wa operesheni ya kukata kaki yenye kasi ya juu ya saa 8, halijoto iliyoko inapobadilika kwa 10℃, mkato wa kukata wa kifaa kwa msingi wa granite ni chini ya 20μm, wakati ule wa vifaa vyenye msingi wa chuma unazidi 60μm. Utendaji huu thabiti wa mafuta huhakikisha kuwa nafasi ya jamaa kati ya chombo cha kukata na kaki inabaki kuwa sahihi wakati wote. Hata chini ya operesheni ya muda mrefu ya kuendelea au mabadiliko makubwa katika joto la mazingira, uthabiti wa usahihi wa kukata unaweza kudumishwa. .
Ugumu na upinzani wa kuvaa: Hakikisha uendeshaji thabiti wa muda mrefu wa vifaa
Mbali na faida za upinzani wa vibration na utulivu wa joto, rigidity ya juu na upinzani wa kuvaa kwa msingi wa granite huongeza zaidi uaminifu wa vifaa vya kukata kaki. Itale ina ugumu wa 6 hadi 7 kwenye mizani ya Mohs na nguvu ya kubana inayozidi 120MPa. Inaweza kuhimili shinikizo kubwa na nguvu ya athari wakati wa mchakato wa kukata na haikabiliani na deformation. Wakati huo huo, muundo wake mnene huipa upinzani bora wa kuvaa. Hata wakati wa shughuli za kukata mara kwa mara, uso wa msingi hauwezi kuvaa, kuhakikisha kwamba vifaa vinaendelea operesheni ya juu-usahihi kwa muda mrefu. .
Katika matumizi ya vitendo, biashara nyingi za utengenezaji wa kaki zimeboresha kwa kiasi kikubwa mavuno ya bidhaa na ufanisi wa uzalishaji kwa kupitisha vifaa vya kukata na besi za granite. Data kutoka kwa taasisi inayoongoza duniani inaonyesha kuwa baada ya kuanzisha vifaa vya msingi vya granite, mavuno ya kaki yameongezeka kutoka 88% hadi zaidi ya 95%, mzunguko wa matengenezo ya vifaa umepanuliwa kwa mara tatu, kwa ufanisi kupunguza gharama za uzalishaji na kuimarisha ushindani wa soko. .
Kwa kumalizia, msingi wa granite, na upinzani wake bora wa vibration, utulivu wa joto, rigidity ya juu na upinzani wa kuvaa, hutoa dhamana ya kina ya utendaji kwa vifaa vya kukata kaki. Kadiri teknolojia ya semiconductor inavyosonga mbele kuelekea usahihi wa hali ya juu, besi za graniti zitakuwa na jukumu muhimu zaidi katika uga wa utengenezaji wa kaki, kukuza maendeleo endelevu ya tasnia ya semiconductor.
Muda wa kutuma: Mei-20-2025