.
Katika uwanja wa utengenezaji wa semiconductor, usahihi wa vifaa vya ukaguzi wa kaki huamua moja kwa moja ubora na mavuno ya chips. Kama msingi unaounga mkono vipengee vya msingi vya ugunduzi, uthabiti wa mwelekeo wa nyenzo za msingi wa kifaa una jukumu muhimu katika utendaji wa muda mrefu wa uendeshaji wa kifaa. Itale na chuma cha kutupwa ni nyenzo mbili za msingi zinazotumika kwa vifaa vya ukaguzi wa kaki. Utafiti wa kulinganisha wa miaka 10 umefunua tofauti kubwa kati yao katika suala la utulivu wa dimensional, kutoa marejeleo muhimu kwa uteuzi wa vifaa. .
Usuli na Usanifu wa Majaribio
Mchakato wa uzalishaji wa kaki za semiconductor una mahitaji ya juu sana kwa usahihi wa kutambua. Hata kupotoka kwa kiwango cha mikromita kunaweza kusababisha kushuka kwa utendaji wa chip au hata kufutwa. Ili kuchunguza uthabiti wa hali ya granite na chuma cha kutupwa wakati wa matumizi ya muda mrefu, timu ya utafiti ilibuni majaribio ambayo yaliiga mazingira halisi ya kazi. Sampuli za granite na chuma cha kutupwa za vipimo sawa zilichaguliwa na kuwekwa kwenye chumba cha mazingira ambapo halijoto ilibadilika kutoka 15℃ hadi 35℃ na unyevu ulibadilika kutoka 30% hadi 70% RH. Mtetemo wa mitambo wakati wa uendeshaji wa vifaa uliiga kupitia meza ya vibration. Vipimo muhimu vya sampuli vilipimwa kila robo kwa kutumia kiingilizi cha leza cha usahihi wa hali ya juu, na data iliendelea kurekodiwa kwa miaka 10. .
Matokeo ya majaribio: Faida kamili ya granite
Miaka kumi ya data ya majaribio inaonyesha kwamba substrate ya granite inaonyesha utulivu wa kushangaza. Mgawo wake wa upanuzi wa joto ni wa chini sana, wastani wa 4.6×10⁻⁶/℃ pekee. Chini ya mabadiliko makubwa ya joto, kupotoka kwa dimensional daima kunadhibitiwa ndani ya ± 0.001mm. Katika uso wa mabadiliko ya unyevu, muundo mnene wa granite hufanya kuwa karibu bila kuathiriwa, na hakuna mabadiliko ya vipimo vinavyoweza kupimika hutokea. Katika mazingira ya mtetemo wa kimitambo, sifa bora za unyevu za granite hunyonya nishati ya mtetemo kwa ufanisi, na kushuka kwa hali ni ndogo sana. .
Kwa kulinganisha, kwa substrate ya chuma cha kutupwa, mgawo wake wa wastani wa upanuzi wa joto hufikia 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, na kupotoka kwa kiwango cha juu kinachosababishwa na mabadiliko ya joto ndani ya miaka 10 ni ± 0.05mm. Katika mazingira yenye unyevunyevu, chuma cha kutupwa kinakabiliwa na kutu na kutu. Baadhi ya sampuli zinaonyesha mgeuko wa ndani, na mchepuko wa dimensional huongezeka zaidi. Chini ya utendakazi wa mtetemo wa kimakenika, chuma cha kutupwa kina utendakazi duni wa kudhoofisha mtetemo na saizi yake hubadilikabadilika mara kwa mara, hivyo kufanya iwe vigumu kukidhi mahitaji ya usahihi wa hali ya juu ya ukaguzi wa kaki. .
Sababu kuu ya tofauti katika utulivu
Granite iliundwa kwa mamia ya mamilioni ya miaka kupitia michakato ya kijiolojia. Muundo wake wa ndani ni mnene na sare, na fuwele za madini zimepangwa kwa utulivu, kuondoa mkazo wa ndani kwa asili. Hii huifanya kuwa isiyojali sana mabadiliko ya mambo ya nje kama vile halijoto, unyevunyevu na mtetemo. Chuma cha kutupwa hutengenezwa kwa mchakato wa kutupwa na kina kasoro ndogo sana kama vile vinyweleo na mashimo ya mchanga ndani. Wakati huo huo, mkazo wa mabaki unaozalishwa wakati wa mchakato wa kutupa unaweza kusababisha mabadiliko ya dimensional chini ya uhamasishaji wa mazingira ya nje. Sifa za metali za chuma cha kutupwa huifanya kuwa na kutu kutokana na unyevunyevu, kuharakisha uharibifu wa muundo na kupunguza utulivu wa dimensional. .
Athari kwenye vifaa vya ukaguzi wa kaki
Vifaa vya ukaguzi wa kaki kulingana na substrate ya granite, pamoja na utendakazi wake thabiti wa dimensional, vinaweza kuhakikisha kuwa mfumo wa ukaguzi unadumisha usahihi wa hali ya juu kwa muda mrefu, kupunguza uamuzi usiofaa na ugunduzi uliokosa unaosababishwa na kupeperushwa kwa usahihi wa vifaa, na kuboresha kwa kiasi kikubwa mavuno ya bidhaa. Wakati huo huo, mahitaji ya chini ya matengenezo hupunguza gharama kamili ya mzunguko wa maisha ya vifaa. Vifaa vinavyotumia substrates za chuma cha kutupwa, kutokana na utulivu duni wa dimensional, vinahitaji calibration na matengenezo ya mara kwa mara. Hii sio tu huongeza gharama za uendeshaji lakini pia inaweza kuathiri ubora wa uzalishaji wa semiconductor kutokana na usahihi usiotosha, na kusababisha hasara za kiuchumi zinazoweza kutokea. .
Chini ya mwelekeo wa tasnia ya semiconductor ya kutafuta usahihi wa hali ya juu na ubora bora, kuchagua granite kama nyenzo ya msingi ya vifaa vya ukaguzi wa kaki bila shaka ni hatua ya busara ili kuhakikisha utendakazi wa vifaa na kuongeza ushindani wa biashara. .
Muda wa kutuma: Mei-14-2025