Je, msingi wa mashine ya granite utapanuka kwa sababu ya joto wakati wa skanning ya kaki?

Katika kiungo muhimu cha utengenezaji wa chip - skanning ya kaki, usahihi wa vifaa huamua ubora wa chip. Kama sehemu muhimu ya vifaa, shida ya upanuzi wa mafuta ya msingi wa mashine ya granite imevutia umakini mkubwa.

Mgawo wa upanuzi wa joto wa granite kawaida huwa kati ya 4 na 8×10⁻⁶/℃, ambayo ni ya chini sana kuliko ile ya metali na marumaru. Hii ina maana kwamba wakati hali ya joto inabadilika, ukubwa wake hubadilika kidogo. Hata hivyo, ni lazima ieleweke kwamba upanuzi wa chini wa joto haimaanishi kuwa hakuna upanuzi wa joto. Chini ya mabadiliko makubwa ya halijoto, hata upanuzi mdogo unaweza kuathiri usahihi wa nanoscale wa skanning ya kaki.

Wakati wa mchakato wa skanning ya kaki, kuna sababu nyingi za kutokea kwa upanuzi wa joto. Mabadiliko ya joto katika warsha, joto linalotokana na uendeshaji wa vipengele vya vifaa, na joto la juu la papo hapo linaloletwa na usindikaji wa laser yote yatasababisha msingi wa granite "kupanua na mkataba kutokana na mabadiliko ya joto". Mara tu msingi unapopata upanuzi wa joto, unyoofu wa reli ya mwongozo na usawa wa jukwaa unaweza kupotoka, na kusababisha trajectory ya harakati isiyo sahihi ya meza ya kaki. Vipengele vinavyounga mkono vya macho pia vitabadilika, na kusababisha boriti ya skanning "kupotoka". Kufanya kazi kwa muda mrefu kwa muda mrefu pia kutakusanya makosa, na kufanya usahihi kuwa mbaya zaidi na mbaya zaidi.

Lakini usijali. Watu tayari wana suluhisho. Kwa upande wa vifaa, mishipa ya granite yenye mgawo wa chini wa upanuzi wa joto itachaguliwa na inakabiliwa na matibabu ya kuzeeka. Kwa upande wa udhibiti wa halijoto, halijoto ya semina inadhibitiwa kwa usahihi ifikapo 23±0.5℃ au hata chini, na kifaa kinachotumika cha kutawanya joto pia kitaundwa kwa msingi. Kwa upande wa muundo wa muundo, miundo ya ulinganifu na usaidizi rahisi hupitishwa, na ufuatiliaji wa wakati halisi unafanywa kupitia sensorer za joto. Hitilafu zinazosababishwa na deformation ya joto hurekebishwa kwa nguvu na algorithms.

Vifaa vya hali ya juu kama vile mashine za lithography za ASML, kupitia mbinu hizi, huweka athari ya upanuzi wa joto ya msingi wa graniti ndani ya safu ndogo sana, kuwezesha usahihi wa kuchanganua kaki kufikia kiwango cha nanometa. Kwa hiyo, mradi tu inadhibitiwa vizuri, msingi wa granite unabaki kuwa chaguo la kuaminika kwa vifaa vya skanning ya kaki.