Je, msingi wa mashine ya granite utapanuka kutokana na joto wakati wa kuchanganua wafer?

Katika kiungo muhimu cha utengenezaji wa chipsi - skanning ya wafer, usahihi wa vifaa huamua ubora wa chipsi. Kama sehemu muhimu ya vifaa, tatizo la upanuzi wa joto la msingi wa mashine ya granite limevutia umakini mkubwa.

Mgawo wa upanuzi wa joto wa granite kwa kawaida huwa kati ya 4 na 8×10⁻⁶/℃, ambayo ni chini sana kuliko ile ya metali na marumaru. Hii ina maana kwamba halijoto inapobadilika, ukubwa wake hubadilika kidogo. Hata hivyo, ikumbukwe kwamba upanuzi mdogo wa joto haimaanishi kuwa hakuna upanuzi wa joto. Chini ya mabadiliko makubwa ya joto, hata upanuzi mdogo zaidi unaweza kuathiri usahihi wa nanoscale wa skanning ya wafer.

Wakati wa mchakato wa kuchanganua wafer, kuna sababu nyingi za kutokea kwa upanuzi wa joto. Kushuka kwa joto katika karakana, joto linalotokana na uendeshaji wa vipengele vya vifaa, na joto la juu la papo hapo linaloletwa na usindikaji wa leza vyote vitasababisha msingi wa granite "kupanuka na kusinyaa kutokana na mabadiliko ya halijoto". Mara tu msingi unapopanuliwa kwa joto, unyoofu wa reli ya mwongozo na uthabiti wa jukwaa vinaweza kupotoka, na kusababisha njia isiyo sahihi ya mwendo wa meza ya wafer. Vipengele vya macho vinavyounga mkono pia vitabadilika, na kusababisha boriti ya kuchanganua "kupotoka". Kufanya kazi kwa kuendelea kwa muda mrefu pia kutakusanya makosa, na kufanya usahihi kuwa mbaya zaidi na zaidi.

Lakini usijali. Watu tayari wana suluhisho. Kwa upande wa vifaa, mishipa ya granite yenye mgawo wa chini wa upanuzi wa joto itachaguliwa na kufanyiwa matibabu ya kuzeeka. Kwa upande wa udhibiti wa halijoto, halijoto ya karakana inadhibitiwa kwa usahihi kwa 23±0.5℃ au hata chini zaidi, na kifaa kinachofanya kazi cha kutawanya joto pia kitaundwa kwa ajili ya msingi. Kwa upande wa muundo wa kimuundo, miundo ya ulinganifu na vifaa vinavyoweza kunyumbulika hutumika, na ufuatiliaji wa wakati halisi unafanywa kupitia vitambuzi vya halijoto. Makosa yanayosababishwa na mabadiliko ya halijoto hurekebishwa kwa nguvu na algoriti.

Vifaa vya hali ya juu kama vile mashine za lithografia za ASML, kupitia njia hizi, huweka athari ya upanuzi wa joto wa msingi wa granite ndani ya kiwango kidogo sana, na kuwezesha usahihi wa skanning ya wafer kufikia kiwango cha nanomita. Kwa hivyo, mradi tu inadhibitiwa ipasavyo, msingi wa granite unabaki kuwa chaguo la kuaminika kwa vifaa vya skanning ya wafer.