Nyenzo - kauri

♦ Alumina (Al2O3)

Sehemu za usahihi wa kauri zinazozalishwa na Zhonghui Intelligent Viwanda Kikundi (ZHHIMG) zinaweza kufanywa kwa malighafi ya kauri ya hali ya juu, 92 ~ 97% alumina, 99.5% alumina,> 99.9% alumina, na CIP baridi ya isostatic. Kuongeza joto la juu na machining ya usahihi, usahihi wa usawa wa ± 0.001mm, laini hadi RA0.1, tumia joto hadi digrii 1600. Rangi tofauti za kauri zinaweza kufanywa kulingana na mahitaji ya wateja, kama vile: nyeusi, nyeupe, beige, nyekundu nyekundu, nk Sehemu za usahihi wa kauri zinazozalishwa na kampuni yetu ni sugu kwa joto la juu, kutu, kuvaa na insulation, na inaweza kutumika kwa muda mrefu katika joto la juu, utupu na mazingira ya gesi yenye kutu.

Inatumika sana katika anuwai ya vifaa vya uzalishaji wa semiconductor: muafaka (kauri bracket), substrate (msingi), mkono/ daraja (manipulator) ,, vifaa vya mitambo na kuzaa hewa ya kauri.

AL2O3

Jina la bidhaa Usafi wa juu 99 alumina kauri mraba / bomba / fimbo
Kielelezo Sehemu 85 % AL2O3 95 % AL2O3 99 % AL2O3 99.5 % AL2O3
Wiani g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Kunyonya maji % <0.1 <0.1 0 0
Joto la joto 1620 1650 1800 1800
Ugumu Mohs 7 9 9 9
Nguvu ya kuinama (20 ℃)) MPA 200 300 340 360
Nguvu ya kuvutia KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Joto la kufanya kazi kwa muda mrefu 1350 1400 1600 1650
Max. Joto la kufanya kazi 1450 1600 1800 1800
Urekebishaji wa kiasi 20 ℃ Ω. CM3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Matumizi ya kauri za alumina za juu:
1. Inatumika kwa vifaa vya semiconductor: Chupa ya utupu wa kauri, diski ya kukata, diski ya kusafisha, chuck ya kauri.
2. Sehemu za uhamishaji wa wafer: Chucks za kushughulikia, diski za kukatwa, diski za kusafisha, vikombe vya ukaguzi wa macho ya macho.
3. LED / LCD Paneli ya kuonyesha gorofa: kauri nozzle, diski ya kusaga kauri, pini ya kuinua, reli ya pini.
4. Mawasiliano ya macho, tasnia ya jua: zilizopo za kauri, viboko vya kauri, bodi ya mzunguko wa skrini ya kauri.
5. Sehemu zinazopinga joto na za kuhami umeme: fani za kauri.
Kwa sasa, kauri za oksidi za alumini zinaweza kugawanywa katika usafi wa hali ya juu na kauri za kawaida. Mfululizo wa juu wa aluminium oksidi ya kauri inahusu nyenzo za kauri zilizo na zaidi ya 99.9% Al₂o₃. Kwa sababu ya joto lake la joto hadi 1650 - 1990 ° C na upeo wa maambukizi ya 1 ~ 6μm, kawaida husindika kuwa glasi iliyosafishwa badala ya kusulubiwa kwa platinamu: ambayo inaweza kutumika kama bomba la sodiamu kutokana na upitishaji wake wa taa na upinzani wa kutu kwa chuma cha alkali. Katika tasnia ya umeme, inaweza kutumika kama vifaa vya kuhami frequency kwa sehemu ndogo za IC. Kulingana na yaliyomo tofauti ya oksidi ya alumini, safu ya kawaida ya kauri ya alumini inaweza kugawanywa katika kauri 99, kauri 95, kauri 90 na kauri 85. Wakati mwingine, kauri zilizo na 80% au 75% ya oksidi ya alumini pia huainishwa kama safu ya kawaida ya kauri ya aluminium. Kati yao, nyenzo 99 za kauri za aluminium hutumiwa kutengeneza joto la joto la juu, bomba la tanuru ya moto na vifaa maalum vya sugu, kama fani za kauri, mihuri ya kauri na sahani za valve. 95 kauri za aluminium hutumiwa sana kama sehemu ya kuzuia kutu-ya kutu. Kauri 85 mara nyingi huchanganywa katika mali zingine, na hivyo kuboresha utendaji wa umeme na nguvu ya mitambo. Inaweza kutumia molybdenum, niobium, tantalum na mihuri mingine ya chuma, na zingine hutumiwa kama vifaa vya utupu wa umeme.

 

Bidhaa ya Ubora (Thamani ya Mwakilishi) Jina la bidhaa AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 Al-31-03
Muundo wa kemikali chini ya sodiamu rahisi H₂o % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SIO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂o % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Kipenyo cha chembe ya kati (MT-3300, njia ya uchambuzi wa laser) μM 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α saizi ya kioo μM 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
Kutengeneza wiani ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Uzani wa kukera ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Kiwango cha kupungua kwa laini ya kutuliza ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MGO haijajumuishwa katika hesabu ya usafi wa al₂o₃.
* Hakuna Poda ya Kuongeza 29.4MPa (300kg/cm²), joto la joto ni 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Ongeza 0.05 ~ 0.1% MGO, sinter ni bora, kwa hivyo inatumika kwa kauri za oksidi za alumini na usafi wa zaidi ya 99%.
AES-22S: Inaonyeshwa na wiani wa juu wa kutengeneza na kiwango cha chini cha kushuka kwa laini, inatumika kwa utengenezaji wa fomu na bidhaa zingine kubwa zilizo na usahihi unaohitajika.
AES-23 / AES-31-03: Inayo wiani wa juu, thixotropy na mnato wa chini kuliko AES-22s. Ya zamani hutumiwa kwa kauri wakati wa mwisho hutumiwa kama kupunguza maji kwa vifaa vya kuzuia moto, kupata umaarufu.

Tabia za Silicon Carbide (SIC)

Tabia za jumla Usafi wa vifaa kuu (wt%) 97
Rangi Nyeusi
Uzani (g/cm³) 3.1
Kunyonya maji (%) 0
Tabia za mitambo Nguvu ya kubadilika (MPA) 400
Modulus mchanga (GPA) 400
Ugumu wa Vickers (GPA) 20
Tabia za mafuta Joto la juu la kufanya kazi (° C) 1600
Mchanganyiko wa upanuzi wa mafuta RT ~ 500 ° C. 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C. 4.3
Utaratibu wa mafuta (w/m x k) 130 110
Upinzani wa mshtuko wa mafuta ΔT (° C) 300
Tabia za umeme Urekebishaji wa kiasi 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Dielectric mara kwa mara 10GHz -
Upotezaji wa dielectric (x 10-4) -
Q sababu (x 104) -
Voltage ya kuvunjika kwa dielectric (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Silicon nitride kauri

Nyenzo Sehemu Si₃n₄
Njia ya kukera - Shinikizo la gesi sintered
Wiani g/cm³ 3.22
Rangi - Kijivu giza
Kiwango cha kunyonya maji % 0
Modulus mchanga GPA 290
Ugumu wa Vickers GPA 18 - 20
Nguvu ya kuvutia MPA 2200
Nguvu za kuinama MPA 650
Uboreshaji wa mafuta W/mk 25
Upinzani wa mshtuko wa mafuta Δ (° C) 450 - 650
Kiwango cha juu cha joto ° C. 1200
Urekebishaji wa kiasi Ω · cm > 10 ^ 14
Dielectric mara kwa mara - 8.2
Nguvu ya dielectric KV/mm 16