Nyenzo - Kauri

♦Alumina(Al2O3)

Sehemu za kauri za usahihi zinazozalishwa na Kikundi cha Utengenezaji wa Akili cha ZhongHui (ZHHIMG) zinaweza kutengenezwa kwa malighafi ya kauri ya usafi wa hali ya juu, 92~97% alumina, 99.5% alumina, > 99.9% alumina, na CIP baridi isostatic kubwa.Uchimbaji wa joto la juu na usindikaji wa usahihi, usahihi wa dimensional wa ± 0.001mm, ulaini hadi Ra0.1, tumia joto hadi digrii 1600.Rangi tofauti za keramik zinaweza kufanywa kulingana na mahitaji ya wateja, kama vile: nyeusi, nyeupe, beige, nyekundu nyeusi, nk. Sehemu za kauri za usahihi zinazozalishwa na kampuni yetu ni sugu kwa joto la juu, kutu, kuvaa na insulation, na inaweza kutumika kwa muda mrefu katika joto la juu, utupu na mazingira ya gesi babuzi.

Inatumika sana katika anuwai ya vifaa vya uzalishaji wa semiconductor: Fremu (mabano ya kauri), Substrate (msingi), Arm/ Bridge(manipulator), , Vipengee vya Mitambo na Ubebaji Hewa wa Kauri.

AL2O3

Jina la bidhaa Usafi wa Juu 99 Alumina Ceramic Square Tube / Bomba / Fimbo
Kielezo Kitengo 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99.5 % Al2O3
Msongamano g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Unyonyaji wa Maji % <0.1 <0.1 0 0
Sintered Joto 1620 1650 1800 1800
Ugumu Mohs 7 9 9 9
Nguvu ya Kukunja (20℃)) Mpa 200 300 340 360
Nguvu ya Kukandamiza Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Joto la Kufanya kazi kwa Muda Mrefu 1350 1400 1600 1650
Max.Joto la Kufanya kazi 1450 1600 1800 1800
Upinzani wa Kiasi 20℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Utumiaji wa keramik za aluminium za usafi wa juu:
1. Inatumika kwa vifaa vya semiconductor: chuck ya utupu wa kauri, disc ya kukata, disc ya kusafisha, CHUCK ya kauri.
2. Sehemu za uhamishaji wa kaki: vichungi vya kushughulikia kaki, rekodi za kukata kaki, rekodi za kusafisha kaki, vikombe vya kufyonza vya ukaguzi wa macho vya kaki.
3. Sekta ya maonyesho ya paneli ya gorofa ya LED / LCD: pua ya kauri, diski ya kusaga kauri, PIN ya LIFT, reli ya PIN.
4. Mawasiliano ya macho, sekta ya jua: zilizopo za kauri, vijiti vya kauri, uchapishaji wa skrini ya bodi ya mzunguko scrapers za kauri.
5. Sehemu zisizo na joto na za kuhami umeme: fani za kauri.
Kwa sasa, keramik ya oksidi ya alumini inaweza kugawanywa katika usafi wa juu na keramik ya kawaida.Mfululizo wa kauri za oksidi za alumini yenye usafi wa hali ya juu hurejelea nyenzo za kauri zilizo na zaidi ya 99.9% Al₂O₃.Kwa sababu ya halijoto yake ya kuungua ya hadi 1650 - 1990 ° C na urefu wa mawimbi yake ya 1 ~ 6μm, kwa kawaida huchakatwa kuwa glasi iliyounganishwa badala ya platinamu crucible: ambayo inaweza kutumika kama tube ya sodiamu kutokana na upitishaji wake mwanga na upinzani wa kutu. chuma cha alkali.Katika tasnia ya kielektroniki, inaweza kutumika kama nyenzo ya kuhami ya masafa ya juu kwa substrates za IC.Kulingana na yaliyomo tofauti ya oksidi ya alumini, safu ya kawaida ya kauri ya oksidi ya alumini inaweza kugawanywa katika keramik 99, keramik 95, keramik 90 na keramik 85.Wakati mwingine, kauri zilizo na 80% au 75% ya oksidi ya alumini pia huainishwa kama safu ya kawaida ya kauri ya oksidi ya alumini.Miongoni mwao, nyenzo za kauri za oksidi 99 za alumini hutumiwa kutengeneza crucible yenye joto la juu, bomba la tanuru la kuzuia moto na vifaa maalum vya sugu, kama vile fani za kauri, mihuri ya kauri na sahani za valve.Keramik za alumini 95 hutumiwa zaidi kama sehemu inayostahimili kutu, inayokinza kuvaa.Keramik 85 mara nyingi huchanganywa katika baadhi ya mali, na hivyo kuboresha utendaji wa umeme na nguvu za mitambo.Inaweza kutumia molybdenum, niobium, tantalum na mihuri mingine ya chuma, na zingine hutumika kama vifaa vya utupu vya umeme.

 

Bidhaa ya Ubora (Thamani Mwakilishi) Jina la bidhaa AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Muundo wa Kemikali Asili-Sodiamu Easy Sintering Bidhaa H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
LOl % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Kipenyo cha Chembe ya Kati (MT-3300, mbinu ya uchambuzi wa leza) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α Ukubwa wa Kioo μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
Kutengeneza Msongamano** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Msongamano wa Sintering** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Kupungua kwa Kiwango cha Sintering Line** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO haijajumuishwa katika hesabu ya usafi wa Al₂O₃.
* Hakuna poda ya kuongeza 29.4MPa (300kg/cm²), halijoto ya sintering ni 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Ongeza 0.05 ~ 0.1% MgO, uwezo wa kuingiliana ni bora, kwa hivyo unatumika kwa keramik za oksidi za alumini na usafi wa zaidi ya 99%.
AES-22S: Inayo sifa ya msongamano wa juu wa uundaji na kiwango cha chini cha kusinyaa kwa laini ya sintering, inatumika kwa uchezaji wa utelezi na bidhaa zingine za kiwango kikubwa na usahihi unaohitajika wa dimensional.
AES-23 / AES-31-03: Ina msongamano wa juu wa kutengeneza, thixotropy na mnato wa chini kuliko AES-22S.ya kwanza inatumika kwa keramik wakati ya mwisho inatumika kama kipunguza maji kwa vifaa vya kuzuia moto, na kupata umaarufu.

♦ Silicon Carbide (SiC) Tabia

Sifa za Jumla Usafi wa sehemu kuu (wt%) 97
Rangi Nyeusi
Uzito (g/cm³) 3.1
Ufyonzaji wa maji (%) 0
Tabia za Mitambo Nguvu ya Flexural (MPa) 400
Moduli changa (GPA) 400
Ugumu wa Vickers (GPA) 20
Tabia za joto Kiwango cha juu cha halijoto ya kufanya kazi (°C) 1600
Mgawo wa upanuzi wa joto RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Uendeshaji wa joto (W/m x K) 130 110
Ustahimilivu wa mshtuko wa joto ΔT (°C) 300
Tabia za Umeme Upinzani wa kiasi 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielectric mara kwa mara 10GHz -
Upotevu wa dielectric (x 10-4) -
Q Factor (x 104) -
Voltage ya kuvunjika kwa dielectric (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Kauri ya Silicon Nitridi

Nyenzo Kitengo Si₃N₄
Njia ya Sintering - Shinikizo la gesi Sintered
Msongamano g/cm³ 3.22
Rangi - Kijivu Kilichokolea
Kiwango cha Kunyonya kwa Maji % 0
Vijana Modulus Gpa 290
Ugumu wa Vickers Gpa 18 - 20
Nguvu ya Kukandamiza Mpa 2200
Nguvu ya Kuinama Mpa 650
Uendeshaji wa joto W/mK 25
Upinzani wa Mshtuko wa joto Δ (°C) 450 - 650
Kiwango cha Juu cha Joto la Uendeshaji °C 1200
Upinzani wa Kiasi Ω·cm > 10 ^ 14
Dielectric Constant - 8.2
Nguvu ya Dielectric kV/mm 16