Mapinduzi katika usahihi wa kukata wafer! Jinsi ya kudumisha nafasi ya ±5um kwa msingi wa granite?

Katika vita vya mwisho vya "usahihi wa nanoprecision" katika utengenezaji wa nusu-semiconductor, hata hitilafu ndogo zaidi katika vifaa vya kukata wafer inaweza kugeuza chip kuwa taka. Msingi wa granite ni shujaa ambaye hajaimbwa ambaye anadhibiti usahihi wa nafasi ya kurudia ya ±5um, akiandika upya sheria za utengenezaji wa usahihi na maajabu yake matatu ya asili.

"Nanga ya utulivu" dhidi ya mabadiliko ya joto: Mgawo wa upanuzi wa joto wa granite ni chini kama 5-7 × 10⁻⁶/℃, ambayo ni theluthi moja tu ya ile ya vifaa vya chuma. Chini ya athari ya joto inayotokana na uendeshaji wa kasi ya juu wa vifaa vya kukata wafer, vifaa vya kawaida vitaharibika kutokana na upanuzi na mkazo wa joto, na kusababisha nafasi ya kichwa cha kukata kuhama. Hata hivyo, msingi wa granite unaweza kubaki "bila kusonga", kimsingi kuondoa kupotoka kwa nafasi kunakosababishwa na mabadiliko ya joto na kuweka msingi imara wa usahihi.

"Ngao ya kimya" ya ufyonzaji wa mtetemo: Mngurumo wa mara kwa mara wa vifaa vya mashine na mtetemo unaoendelea wa vifaa katika karakana vinaweza kuonekana kama "wauaji wa kuua" kwa usahihi. Muundo wa kipekee wa fuwele wa granite ni kama kifyonzaji mshtuko wa asili, chenye uwezo wa kubadilisha haraka mitetemo ya nje na mitetemo ya mitambo inayotokana na uendeshaji wa vifaa kuwa nishati ya joto kwa ajili ya kutawanya. Ingawa besi zingine bado "zinayumbayumba" kutokana na mtetemo, msingi wa granite umeunda jukwaa thabiti kwa kichwa cha kukata ambacho kinabaki bila kusonga, na kufanya usahihi wa ±5um uwezekane.

"Ngome ya Milele" Isiyoweza Kutua: Warsha za nusu kondakta zimejaa vitu vinavyoweza kutua kama vile myeyusho wa kung'oa na visafishaji vya asidi na alkali. Katika mazingira kama hayo, besi za chuma zitatua na kuharibika polepole. Granite, pamoja na uthabiti wake wa kemikali asilia, haiguswa na vitu hivi vya kemikali hata kidogo. Haijalishi itatumika kwa miaka mingapi, inaweza kudumisha uadilifu wa kimuundo na kuhakikisha ukataji wa usahihi wa hali ya juu kila mara.

Kuanzia vipaji vya nyenzo hadi usindikaji wa usahihi wa hali ya juu, msingi wa granite umeonyesha kwa nguvu zake kwamba sio vifaa vyote vinavyoweza kukabiliana na changamoto kali za utengenezaji wa nusu-semiconductor. Ni kwa sababu ya faida hizi za asili zisizoweza kubadilishwa kwamba besi za granite zimekuwa ufunguo wa vifaa vya kukata wafer ili kufikia usahihi wa kurudia wa nafasi ya ±5um, na zimeisukuma zaidi tasnia ya nusu-semiconductor kusonga mbele kuelekea usahihi wa juu zaidi!

granite ya usahihi14


Muda wa chapisho: Mei-14-2025