Katika nyanja za utengenezaji wa usahihi na utafiti wa kisayansi, uthabiti wa majukwaa ya usahihi wa granite ni kiashiria muhimu cha kuhakikisha usahihi wa vifaa. Ifuatayo ni utangulizi wa kina wa mbinu kadhaa kuu za kugundua na taratibu zao za uendeshaji.
I. Mbinu ya kugundua kipima-njia cha leza
Kipima-umbo cha leza ndicho kifaa kinachopendelewa zaidi kwa ajili ya kugundua ulalo wa hali ya juu kwa usahihi. Chukua mfano wa kipima-umbo cha leza cha ZYGO GPI XP, ubora wake unaweza kufikia 0.1nm. Unapofanya ugunduzi, kwanza linganisha chanzo cha mwanga cha kipima-umbo na jukwaa na ugawanye uso wa jukwaa katika maeneo ya gridi ya 50mm×50mm. Baadaye, data ya ukingo wa kuingiliana ilikusanywa hatua kwa hatua, na data iliwekwa na kuchanganuliwa kwa kutumia polinomia ya Zernike ili kupata hitilafu ya ulalo. Njia hii inatumika kwa majukwaa yenye usahihi wa hali ya juu na inaweza kugundua makosa ya ulalo wa ≤0.5μm/m². Inatumika sana katika kugundua mashine za fotolithografia na majukwaa ya mashine za kupimia zenye uratibu wa hali ya juu zenye uratibu wa tatu.
Ii. Mbinu ya Safu ya Kiwango cha Kielektroniki
Ugunduzi wa safu ya kiwango cha kielektroniki ni rahisi kufanya kazi na ufanisi mkubwa. Kiwango cha kielektroniki cha TESA A2 (chenye azimio la 0.01μm/m) kilichaguliwa na kupangwa katika safu ya 9×9 kando ya mwelekeo wa mhimili wa X/Y wa jukwaa. Kwa kukusanya data ya mteremko wa kila ngazi kwa njia sambamba na kisha kutumia mbinu ya mraba mdogo zaidi kwa ajili ya hesabu, thamani ya ulalo inaweza kupatikana kwa usahihi. Njia hii inaweza kutambua kwa ufanisi hali ya mkunjo wa ndani na mkunjo wa jukwaa. Kwa mfano, mabadiliko ya 0.2μm ndani ya masafa ya 50mm yanaweza pia kugunduliwa, ambayo yanafaa kwa ugunduzi wa haraka katika uzalishaji wa wingi.
Iii. Mbinu ya Fuwele Bapa ya Mwanga
Mbinu ya fuwele tambarare ya macho inafaa kwa kugundua majukwaa madogo ya eneo. Ambatisha fuwele tambarare ya macho kwa ukali kwenye uso unaopaswa kujaribiwa kwenye jukwaa na uangalie pindo za kuingiliana zilizoundwa kati yao chini ya mwangaza wa chanzo cha mwanga cha monochromatic (kama vile taa ya sodiamu). Ikiwa mistari ni mistari iliyonyooka sambamba, inaonyesha ulalo mzuri. Ikiwa mistari iliyopinda itaonekana, hesabu hitilafu ya ulalo kulingana na kiwango cha mkunjo wa mistari. Kila mstari uliopinda unawakilisha tofauti ya urefu wa 0.316μm, na data ya ulalo inaweza kupatikana kupitia ubadilishaji rahisi.
Nne. Mbinu ya ukaguzi wa mashine ya kupimia yenye uratibu tatu
Mashine ya kupimia yenye uratibu tatu inaweza kufikia kipimo cha usahihi wa hali ya juu katika nafasi ya pande tatu. Weka jukwaa la granite kwenye meza ya kazi ya mashine ya kupimia na utumie probe kukusanya data kwa usawa kutoka sehemu nyingi za kipimo kwenye uso wa jukwaa. Mfumo wa mashine ya kupimia husindika na kuchanganua data hizi ili kutoa ripoti ya uthabiti wa jukwaa. Njia hii haiwezi tu kugundua uthabiti, lakini pia kupata vigezo vingine vya kijiometri vya jukwaa kwa wakati mmoja, na inafaa kwa ugunduzi kamili wa majukwaa makubwa ya granite.
Kufahamu mbinu hizi za kugundua kunaweza kukusaidia kutathmini kwa usahihi uthabiti wa jukwaa la usahihi wa granite na kutoa dhamana ya kuaminika kwa uendeshaji thabiti wa vifaa vya usahihi.
Muda wa chapisho: Mei-29-2025