.
.
Katika ulimwengu sahihi wa utengenezaji wa nusu-semiconductor, upimaji usioharibu wa wafers ni kiungo muhimu cha kuhakikisha ubora wa chipsi. Msingi wa granite unaoonekana kutokuwa na maana kwa kweli ni "shujaa asiyeimbwa" anayeamua usahihi wa ugunduzi. Je, inaathiri vipi matokeo ya mtihani? Makala haya yatafanya uchambuzi wa kina kutoka kwa vipimo kama vile sifa za nyenzo na muundo wa kimuundo.
1. Msingi Imara: Faida asilia za granite huweka msingi imara wa usahihi
1. Utendaji bora wa mitetemeko ya ardhi
Wakati wa uendeshaji wa vifaa vya upimaji visivyoharibu vya wafer, mzunguko wa mota na mwendo wa vipengele vya mitambo vyote vitatoa mitetemo. Ikiwa mitetemo hii haitakandamizwa kwa ufanisi, itaingilia vibaya usahihi wa upimaji. Sehemu ya ndani ya granite imeunganishwa kwa karibu na fuwele za madini kama vile quartz na feldspar. Muundo wake wa kipekee huipa uwezo wa asili wa kunyonya mitetemo, wenye uwezo wa kunyonya zaidi ya 90% ya nishati ya mitetemo ya vifaa. Data halisi ya kipimo cha mtengenezaji fulani wa nusu-semiconductor inaonyesha kwamba baada ya kutumia msingi wa granite, amplitude ya mitetemo ya vifaa vya kugundua imepunguzwa kutoka 12μm hadi 2μm, na hivyo kuepuka kupotoka kwa ishara ya kugundua inayosababishwa na mitetemo.
2. Mgawo mdogo sana wa upanuzi wa joto
Wakati wa mchakato wa kugundua, mambo kama vile kupasha joto vifaa na mabadiliko ya halijoto ya mazingira yote yataathiri uthabiti wa msingi wa mashine. Vifaa vya kawaida hupanuka kwa kiasi kikubwa vinapopashwa joto, lakini mgawo wa upanuzi wa joto wa granite ni 1/5 tu ya ule wa chuma. Hata kama halijoto ya mazingira hubadilika kwa 10°C, ubadilikaji wake unaweza kupuuzwa. Hii huwezesha msingi wa granite kutoa jukwaa thabiti la marejeleo kwa vifaa vya ukaguzi, kuhakikisha kwamba nafasi kati ya probe ya ukaguzi na wafer inabaki kuwa sahihi wakati wote na kuepuka makosa ya ukaguzi yanayosababishwa na ubadilikaji wa joto.
Pili, muundo sahihi: Uboreshaji wa miundo huongeza zaidi uaminifu wa ugunduzi
Uhakikisho wa usindikaji wa hali ya juu na uthabiti
Msingi wa granite wa ubora wa juu husindikwa na teknolojia ya hali ya juu ya CNC ya mhimili mitano, yenye ulalo wa ±0.5μm/m, ikitoa marejeleo ya usakinishaji tambarare sana kwa vifaa vya ukaguzi. Katika ukaguzi wa wafer, wima na usawa wa probe ya ukaguzi ni muhimu kwa matokeo ya ukaguzi. Msingi wa granite wa usahihi wa hali ya juu unaweza kuhakikisha uwekaji sahihi wa probe, na kufanya data ya ukaguzi kuwa sahihi na ya kuaminika zaidi.
2. Marekebisho ya kimuundo yaliyobinafsishwa
Besi za mashine za granite zinaweza kubinafsishwa kwa ajili ya vifaa tofauti vya upimaji visivyoharibu na mahitaji ya mchakato. Kwa mfano, ili kukidhi mahitaji ya vifaa vya ukaguzi wa macho kwa ajili ya mwangaza, uso wa msingi wa mashine unaweza kutibiwa maalum; Ili kukidhi mahitaji ya usakinishaji wa vifaa vya upimaji vya ultrasonic, msingi unaweza kutengenezwa kwa mashimo sahihi ya usakinishaji na trei za kebo, kuwezesha usakinishaji wa haraka na sahihi wa vifaa na kupunguza kupotoka kwa kugundua kunakosababishwa na makosa ya usakinishaji.
III. Utulivu wa muda mrefu: Punguza upotevu wa usahihi unaosababishwa na matengenezo ya vifaa
Itale ina ugumu wa juu na upinzani mkubwa wa uchakavu, ikiwa na ugumu wa Mohs wa 6 hadi 7, ambao ni mara tatu ya upinzani wa uchakavu wa chuma cha kawaida. Wakati wa shughuli za ukaguzi wa muda mrefu, uso wa msingi wa mashine hauharibiki na unaweza kudumisha hali nzuri ya usahihi kila wakati. Kwa upande mwingine, besi zilizotengenezwa kwa vifaa vingine zinaweza kusababisha mabadiliko katika marejeleo ya usakinishaji wa vifaa kutokana na uchakavu, na hivyo kuathiri usahihi wa kugundua na kuhitaji urekebishaji na matengenezo ya mara kwa mara. Maisha marefu ya huduma na utulivu wa juu wa msingi wa granite hupunguza kwa ufanisi mzunguko wa matengenezo ya vifaa na kupunguza hatari ya upotevu wa usahihi unaoweza kutokea wakati wa mchakato wa matengenezo.
Kuanzia upinzani wa mshtuko, upinzani wa joto hadi muundo sahihi, kila kipengele cha msingi wa granite kinalinda usahihi wa majaribio yasiyoharibu ya wafers. Katika enzi ya utengenezaji wa nusu-semiconductor ya leo ambayo hufuata usahihi wa hali ya juu, kuchagua msingi wa granite wa ubora wa juu ni kama kuongeza safu thabiti ya bima kwa usahihi na uaminifu wa matokeo ya mtihani.
Muda wa chapisho: Juni-18-2025