Utengenezaji wa nusukonduktora: Katika mchakato wa utengenezaji wa chipu, mchakato wa fotolithografia unahitaji kuhamisha muundo wa saketi kwa usahihi hadi kwenye wafer. Msingi wa granite wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa hewa ya mhimili mmoja unaweza kutoa nafasi ya usahihi wa hali ya juu na usaidizi thabiti kwa meza ya wafer katika vifaa vya lithografia. Kwa mfano, ASML na watengenezaji wengine maarufu wa mashine za lithografia hutumia moduli za mwendo wa hewa ya msingi wa granite katika vifaa vyao vya hali ya juu, ambavyo vinaweza kudhibiti usahihi wa nafasi ya wafer katika kiwango cha nanomita ili kuhakikisha usahihi wa muundo wa lithografia, na hivyo kuboresha ujumuishaji na utendaji wa chipu.
Sehemu ya upimaji sahihi: CMM ni kifaa cha upimaji sahihi kinachotumika sana katika uzalishaji wa viwandani, ambacho hutumika kupima ukubwa, umbo na usahihi wa nafasi ya kipini cha kazi. Moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu ya kuelea kwa hewa ya mhimili mmoja kwenye msingi wa granite inaweza kutumika kama jukwaa la mwendo la CMM, ambalo linaweza kufikia mwendo wa mstari wa usahihi wa hali ya juu na kutoa njia thabiti ya mwendo kwa probe ya kupimia. Kwa mfano, CMM ya hali ya juu ya Hexagon hutumia mchanganyiko huu kupima sehemu kubwa na ngumu zenye usahihi wa kupimia hadi kiwango cha mikroni, kutoa dhamana kubwa kwa udhibiti wa ubora wa sehemu katika magari, anga za juu na viwanda vingine.
Sehemu ya angani: Katika usindikaji na upimaji wa sehemu za angani, usahihi wa hali ya juu unahitajika. Kwa mfano, usindikaji wa vile vya injini za ndege unahitaji udhibiti sahihi wa njia ya mwendo wa chombo ili kuhakikisha usahihi wa wasifu wa blade. Msingi wa granite wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa kuelea hewa ya mhimili mmoja unaweza kutumika kwenye kituo cha usindikaji cha mhimili tano na vifaa vingine ili kutoa udhibiti sahihi wa mwendo wa chombo na kuhakikisha kwamba usahihi wa usindikaji wa vile unaweza kukidhi mahitaji ya muundo. Wakati huo huo, katika mchakato wa mkusanyiko wa injini ya angani, ni muhimu pia kutumia vifaa vya kupimia usahihi wa hali ya juu ili kugundua usahihi wa mkusanyiko wa sehemu. Moduli ya mwendo wa kuelea hewa ya msingi wa granite inaweza kutoa usaidizi thabiti na harakati sahihi kwa vifaa vya kupimia ili kuhakikisha ubora wa mkusanyiko.
Sehemu ya ukaguzi wa macho: Katika mchakato wa utengenezaji na upimaji wa vipengele vya macho, ni muhimu kufanya uwekaji na upimaji wa vipengele vya macho kwa usahihi wa hali ya juu. Kwa mfano, wakati wa kutengeneza vipengele vya macho vya usahihi wa hali ya juu kama vile vioo na lenzi, ni muhimu kutumia vipima-interferomita na vifaa vingine ili kugundua usahihi wa umbo la uso. Msingi wa granite wa moduli ya mwendo wa usahihi wa hali ya juu wa hewa inayoelea ya mhimili mmoja unaweza kutumika kama jukwaa la mwendo la kipima-interferomita, ambalo linaweza kutambua usahihi wa uwekaji wa mikroni ndogo na kutoa usaidizi sahihi wa data kwa ajili ya kugundua vipengele vya macho. Kwa kuongezea, katika vifaa vya usindikaji wa leza, ni muhimu pia kutumia jukwaa la mwendo wa usahihi wa hali ya juu ili kudhibiti njia ya kuchanganua ya boriti ya leza, msingi wa granite wa moduli ya mwendo wa hewa inayoelea unaweza kukidhi hitaji hili, ili kufikia usindikaji wa leza wa usahihi wa hali ya juu.
Muda wa chapisho: Aprili-07-2025