Katika nyanja za utengenezaji wa hali ya juu na utafiti wa kisayansi wa kisasa, jukwaa la harakati za hewa ya shinikizo tuli linaloelea kwa usahihi ndio vifaa muhimu vya kufikia operesheni ya usahihi wa hali ya juu. Msingi wa usahihi wa granite ndio sehemu kuu inayounga mkono jukwaa, na utendaji wake unahusiana kwa karibu na mazingira ya kazi. Kuelewa na kukidhi mahitaji haya ya mazingira hakuwezi tu kuhakikisha uendeshaji wa jukwaa kwa usahihi wa hali ya juu, lakini pia ni sehemu muhimu ya biashara ili kuongeza ushindani wake katika nyanja zinazohusiana, ambayo imeelezwa kwa undani hapa chini.
1. Halijoto: udhibiti sahihi ili kuhakikisha uthabiti wa vipimo
Ingawa granite inajulikana kwa uthabiti wake, mgawo wake wa upanuzi wa joto si sifuri, na mabadiliko madogo ya halijoto bado yanaweza kuathiri usahihi wake wa vipimo. Kwa ujumla, mgawo wa upanuzi wa joto wa granite ni 5-7 × 10⁻⁶/℃. Katika hali ya matumizi ya jukwaa la harakati za hewa inayoelea kwa shinikizo tuli, mabadiliko haya madogo yanaongezwa na jukwaa, ambalo linaweza kusababisha kupotoka kwa usahihi wa harakati. Kwa mfano, katika mchakato wa utengenezaji wa chipu za semiconductor, mchakato wa lithografia kwa mahitaji ya usahihi wa kiwango cha danami, kushuka kwa joto la kawaida la 1 ° C, urefu wa kando wa msingi wa granite wa mita 1 unaweza kutoa mikroni 5-7 za upanuzi wa mstari au mkazo, ambayo inatosha kufanya kupotoka kwa muundo wa lithografia ya chip, kupunguza mavuno. Kwa hivyo, jukwaa la hewa inayoelea kwa shinikizo tuli lenye msingi wa usahihi wa granite, halijoto bora ya mazingira ya kazi inapaswa kudhibitiwa kwa ukali kwa 20 ° C ± 1 ° C, makampuni yanaweza kufunga mfumo wa halijoto ya halijoto ya juu na ya mara kwa mara, kufuatilia na kurekebisha kwa usahihi halijoto ya mazingira, kudumisha ukubwa wa utulivu wa msingi wa granite, ili kuhakikisha kwamba jukwaa linafanya kazi kwa usahihi wa hali ya juu.
2.unyevu: udhibiti mzuri, linda utendaji wa msingi
Unyevu pia una athari kubwa kwenye besi za granite za usahihi. Katika mazingira yenye unyevunyevu mwingi, granite ni rahisi kunyonya mvuke wa maji, na kunaweza kuwa na mgandamizo juu ya uso, ambao hautaingilia tu utendaji wa kawaida wa mfumo wa kuelea hewa, lakini pia utasababisha mmomonyoko wa muda mrefu wa uso wa granite, na kupunguza usahihi na maisha yake ya huduma. Kwa mfano, karakana ya kusaga lenzi za macho, ikiwa unyevunyevu ni wa juu kuliko 60%RH kwa muda mrefu, mvuke wa maji unaoingizwa kwenye uso wa msingi wa granite utaharibu usawa wa filamu ya kuelea hewa, na kusababisha kupungua kwa usahihi wa kusaga lenzi na kasoro za uso. Kwa hivyo, unyevunyevu wa mazingira ya kazi unahitaji kudhibitiwa kati ya 40%-60%RH. Makampuni yanaweza kutumia viondoa unyevunyevu, vitambuzi vya unyevunyevu na vifaa vingine kufuatilia na kudhibiti unyevunyevu kwa wakati halisi, kuunda mazingira yanayofaa ya unyevunyevu kwa msingi wa granite wa usahihi, na kuhakikisha uendeshaji thabiti wa jukwaa la harakati za hewa ya shinikizo tuli la usahihi.
3. usafi: dhibiti kwa ukali, ondoa kuingiliwa kwa chembe
Chembe za vumbi ni "adui" wa jukwaa la harakati za hewa ya shinikizo tuli, na husababisha madhara makubwa kwa msingi wa usahihi wa granite. Mara tu chembe ndogo zinapoingia kwenye pengo la filamu ya gesi kati ya kitelezi cha kuelea cha gesi na msingi wa granite, zinaweza kuharibu usawa wa filamu ya gesi, kuongeza msuguano, na hata kukwaruza uso wa msingi, na kuathiri vibaya usahihi wa harakati za jukwaa. Katika karakana ya usindikaji ya usahihi wa hali ya juu ya sehemu za anga, ikiwa chembe za vumbi hewani zitaanguka kwenye msingi wa granite, njia ya mwendo wa kifaa cha usindikaji inaweza kupotoka, na kuathiri usahihi wa usindikaji wa sehemu hizo. Kwa hivyo, eneo la kazi linapaswa kuwekwa safi sana na kufikia kiwango cha usafi cha 10,000 au zaidi. Makampuni yanaweza kuchuja chembe za vumbi hewani kwa kufunga vichujio vya hewa vya ufanisi wa hali ya juu (HEPA), na kuhitaji wafanyakazi kuvaa nguo zisizo na vumbi, vifuniko vya viatu, n.k., ili kupunguza vumbi linaloletwa na wanadamu, na kudumisha mazingira ya uendeshaji ya usahihi wa hali ya juu ya msingi wa granite na jukwaa la harakati za hewa ya shinikizo tuli.
4. Mtetemo: Kutengwa kwa ufanisi ili kuunda nafasi laini
Mtetemo wa nje utaingilia sana usahihi wa jukwaa linaloelea la hewa yenye shinikizo tuli, ingawa msingi wa granite wa usahihi una uwezo fulani wa kupunguza mtetemo, lakini mtetemo wa nguvu nyingi bado unaweza kuvunja kikomo chake cha bafa. Mtetemo unaotokana na trafiki inayozunguka kiwanda na uendeshaji wa vifaa vikubwa vya mitambo hupitishwa kwenye msingi wa granite kupitia ardhini, ambao utaingilia usahihi wa harakati za jukwaa. Katika CMM ya hali ya juu, mtetemo unaweza kusababisha mguso kati ya probe ya kupimia na kipini kupimiwa kuwa usio imara, na kusababisha kupotoka kwa data ya kipimo. Ili kutatua tatizo hili, ni muhimu kupitisha hatua madhubuti za kutenganisha mitetemo, kama vile kuweka pedi za kutenganisha mitetemo katika eneo la usakinishaji wa vifaa, kujenga msingi wa kutenganisha mitetemo, au kutumia mfumo hai wa kutenganisha mitetemo ili kukabiliana kikamilifu na mtetemo wa nje, na kuunda mazingira ya kazi tulivu na thabiti kwa msingi wa usahihi wa granite na jukwaa la harakati la hewa yenye shinikizo tuli.
Kukidhi mahitaji ya kimazingira yaliyo hapo juu, ili kutoa mchango kamili kwa faida za msingi wa usahihi wa granite katika jukwaa la harakati za hewa ya shinikizo tuli, ili kuhakikisha kwamba jukwaa linatoa huduma za udhibiti wa mwendo zenye usahihi wa hali ya juu na uthabiti wa hali ya juu kwa tasnia mbalimbali. Ikiwa makampuni yanaweza kuzingatia maelezo haya katika mazingira ya uzalishaji, yatatumia fursa hiyo katika utengenezaji wa usahihi, utafiti wa kisayansi na nyanja zingine, kuongeza ushindani wao, na kufikia maendeleo endelevu.
Muda wa chapisho: Aprili-10-2025