Fani za Hewa za Granite katika Mifumo ya Mwendo wa Usahihi wa Juu: Matumizi ya Fizikia na Viwanda

Mifumo ya kubeba hewa ya granite hutumika sana katikausahihi wa hali ya juumajukwaa ya mwendo kwa ajili ya utengenezaji wa nusu-semiconductor, upangiliaji wa macho, na upimaji wa kipimo cha nanomita.

Mifumo hii huondoa mguso wa mitambo kwa kutumia filamu nyembamba ya hewa yenye shinikizo, na kufikia mwendo wa msuguano wa karibu sifuri.

Kanuni ya Kubeba Hewa

Fani za hewa hufanya kazi kwa kuingiza hewa iliyobanwa kati ya nyuso mbili, na kutengeneza filamu ya hewa ya 2–20 μm.

Hii huondoa:

• Msuguano wa mitambo
• Vaa
• Tabia ya kuteleza kwa fimbo

Mfumo hutegemea mienendo ya filamu ya umajimaji na mtiririko thabiti wa laminar.

Jukumu la Granite

Granite hutoa:

• Uthabiti wa kimuundo
• Ukandamizaji wa kuteleza kwa joto
• Upunguzaji wa mtetemo

Inatumika kama msingi wa marejeleo ya kiufundi kwa mfumo wa mwendo.

Vipengele vya Mfumo

• Msingi wa granite
• Pedi za kubebea hewa
• Mfumo wa usambazaji hewa
• Visimbaji vya usahihi
• Mfumo wa kudhibiti mwendo

Sifa za Utendaji

Utendaji wa kawaida unajumuisha:

• Usahihi wa nafasi ya chini ya micron
• Unyoofu wa hali ya juu wakati wa safari ndefu
• Majibu ya kiufundi yasiyo na msingi

Vyanzo vikuu vya hitilafu ni pamoja na kutokuwa na utulivu wa shinikizo la hewa, mkondo wa joto, na hitilafu ya kisimbaji.

Maombi

• Ukaguzi wa wafer wa nusu kondakta
• Mifumo ya Lithografia
• Mifumo ya upangiliaji wa macho
• Mashine za upimaji za hali ya juu

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara

Je, fani za hewa huchakaa?
Kutogusa kwa mitambo huondoa uchakavu.

Kwa nini utumie granite?
Kwa utulivu na upunguzaji wa mtetemo.

Ni nini kinachopunguza usahihi?
Utulivu wa hewa na athari za joto.

Je, wanaweza kubeba mizigo mizito?
Ndiyo, kulingana na muundo.